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第29卷第5期 计算机仿真 2012年5月 文章编号：1006—9348(2012)05—0103—04 衍射光栅机械刻划过程的有限元仿真分析 石广丰，史国权，张垒垒．姜伟平 (长春理工大学．吉林长春130022) 播要：研究关于衍射光栅机械刻划的槽彤精度控制问题。衍射光栅机械刻划是一种在超精密刻划机上利用金剐石刀具对光 栅铝膜进行微细挤压的成彤技术．表面成彤精度要求岛。但是由于光栅机械刻划下艺复杂．刻划过程中铝膜材料的成形机 3D 理难以掌握．内部流动规律和变彤特征无法认识。为了解决上述闷题。首先根据锻膜压痕实验建忘拟实条件．在Deform 金属成形仿真环境_F通过实体模型导人时的缩小比例功能实现尖劈别划刀的微刃n建模，并建立了机械刻划光栅铝膜的有 限无仿真模型。通过和实验槽彤结果的对比，验证r仿真模型的精确性，最终获得了销膜材料在刻刀及其刀尖钝圆作用下 的流动规律．揭示了机械刻划光栅过程中铝膜的掸耀性变形特征，为衍射光栅机械刻划工艺的研究提供r依据。 美键词：衍射光栅：机械剔划：有限元：流动规律 中图分类号：THl28文献标识码：B FiIliteElementSimulationofMechanical Analysis ofDiffraction Ruling Grating SHI Lei—lei，JIANG Guang—feng，SHIGuo—quan，ZHANG Wei-ping ofScienceand Jilin130022，China) (ChangehunUniversity Technology，Changchun studiedthe controlof isa ABSTRACT：This mechanical paper precise gratinggrooveby ruling．Mechanicalruling of filmto diamondcutteron microextrusion aluminium formingtechnologyforcinggrating generategrooves ruling by demandis becauseofthe superprecisionrulingengine。whoseformingprecision high．But complextechnics，the mechanismof mechanicalisdifficultbe inner and forming grating ruling to mastered，besides，theflowingregularity deformationcharacterist
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