分析在电子通信中MEMS技术的价值.pdfVIP

2012年第18期 科技圈向导 ◇高教论述◇ 分析在电子通信中MEMS技术的价值 范建英 (宝鸡文理学院 陕西 宝鸡 721000) 摘【 要】M卫Ms是MicroElectroMechanicalsystems的英文缩写，它是微型执行器、微型机械、控制电路、通信、接口、电源以及信号处理融 为一体的且可以批量生产的系统或微型器件，在近年新兴科学技术的高速发展下，它广泛的应用于很多的领域。本文就在电子通信中MEMS 技术的价值进行思考分析。 【关键词】电子通信；MEMs技术；价值 微电子机械系统技术(MEMS技术)是建立在纳米席致米技术的基 MEMS传感器出现了电子化消费的趋势．MEMS传感器逐步的渗透到 础上的，它是21世纪的新兴高科技技术 ．是一项对纳米微／米材料进 了电子消费市场，目前加速度传感器、流量传感器、压力传感器以及微 行加工、设计、控制、制造和测量的技术。它可将 电控系统 、驱动的部 机械陀螺等已经成功的推向电子消费市场 件、机械的构件、光学系统集和一起使之成为一个整体的微型系统。这 3．2微型执行器方向 样集多种科技手段为一体的微电子机械系统不仅能够发送、处理、采 微马达、微型光学器件、微型阀等等都需要利用微型执行器提供 集信息和指令．还能够按照所得到的信息地域或者是根据外部的指令 给其各种运动和控制。 信息来采取行动。它用微加工技术和微电子技术泡括LIGA和晶片键 3．3微型系统方向 合技术 、硅体微加工技术、硅表面微加工技术等)相结合的制造工艺， MEMS技术的研究最终 目标是高度集成化并且具有一定功能的 制造出各种各样价格低廉、且性能优异、的微型化执行器、驱动器、传 微型系统．也是MEMS技术发展应用的必经之路。微系统的发展方向 感器和微系统 是将光学和MEMS技术相结合．生物技术和MEMS技术相结合，射频 在近年来 ．在微电子机械系统技术(MEMS)带动下．以它的微加 或者微波通信技术与MEMS技术相结合．从而研究出微型光机电系 工、微电子技术为基础。在电子通信技术行业中开始了一场深刻的革 统、生物医学微系统以及射频微系统： 命。它将机械集成化与电子技术相结合，交融多种科学尖端的技术．加 3-3．1微生物芯片 快了整个电子通信技术行业的发展．并产生了深远的影响 利用 MEMS技术在硅片上制造出的微生物芯片．功能齐全、成本 1．MEMS的定义 低廉并且携带方便。它可以利用于实现样品的结果输出功能、检测、对 在 目前，微电子机械系统技术 (MicroElectronMechanicSystems． 比、处理、分析的集成化。 MEMS)的定义没有统一的标准．通常的定义有三种： 3．3．2微光机电系统 1．1广义的定义 微光机电系统成功的将微电子、微光学、微机械相结合。是最富有 MEMS是指集微执行器、微传感器、接口电路 、信号处理、控制电 开发的潜力MEMS技术分支。目前已有微光开关 、微光扫描器、微光 路、电源及通信电路于一体的完整的微型机电系统。它可将电控系统、 斩波器开发成功 机械构件、驱动部件集成为一个整体的微型系统 3．3．3射频微系统 1．2狭义的定义 利用射频微系统技术有望把MIC实现高度集成，从而制作出执 MEMS专指构成元件尺寸，是微米、纳米量级的可运动、可控制的 行、处理、传输、信息的采集于一体的系统集成芯片SOC的可能。这种 微型机电系统，或指用微米、纳米材料进行制造、测量 、设计 、控制和加 技术一但被开发实现 ．不仅具有价格便宜、可靠性高、重量轻、体积小 工的系统 等优点、还可以进行产品批量化、圆片级生产。 1．3工艺上的定义 4．MEMS的应用前景