检测技术---第五章 长度测量（上）.pptVIP

第五章 长度测量 §5-1 概述 §5-2 长度尺寸测量 §5-3 形位误差和异形曲面的测量 §5-4 表面粗糙度测量 §5-5 线位移量的测量 §5-6 纳米测量技术 §5-1 概述  一、长度单位和定义 二、长度量值传递 三、长度测量的标准量 1.光波波长： 2.量块 3.光栅及容栅的栅距、磁栅的节距和感应同步器的线距 四、阿贝原则 §5-2 长度尺寸测量 一、常见尺寸测量 二、大尺寸的测量 三、微小尺寸测量 四、被加工尺寸的在线监测——主动测量仪 五、测量误差分析 标准件——光栅尺 3、锅炉、管道壁厚连续测量 二、大尺寸的测量 1、用弓高弦长法测量大直径 2、滚轮法测量大轴直径 3、激光跟踪干涉仪测大曲面 2、滚轮法测量大轴直径 三、微小尺寸测量 1、线宽及间距测量 2、线深(台阶)测量 3、膜层厚度测量 4、测量实例 1）用激光衍射法测量金属细丝直径 2）光纤直径的测量——透明介质 钟表行业：游丝、金属薄带 四、被加工尺寸的在线监测——主动测量仪 五、测量误差分析 原理误差 计量器具误差 定位误差 测力引起的误差 温度引起的误差 人员误差 * * 温度、湿度、气压、振动等 标准状态：200C、50~60%、0.1MPa、远离振源 五、长度测量的环境标准要求 1、游标量具 2、测微量具 3、表类量具 4、长度计量仪器 六、长度计量中常用的量具与量仪 测量步骤： 定位 瞄准 读数 数据处理 测量结果 一、常见尺寸测量 （一）定位 （二） 瞄准 接触式 非接触式 （三） 读数 （四）测量过程实例 1、电感式内孔比较仪测量孔径 坐标测量法 坐标测量法是几何量测量最基本最常用的测量方法，通过测量被测几何要素上若干个点的位置坐标继而求得被测参量。包括采样读数和数据处理两个步骤。 建立工件坐标系、由采样点的坐标值计算被测量。 单坐标、双坐标、三坐标及多坐标。 2. 三坐标测量机测量孔与直线间的间距 p87公式 莫尔条纹 1、用弓高弦长法测量大直径 3、激光跟踪干涉仪测大曲面 4.测量实例 1）用激光衍射法测量金属细丝直径 f ’ xk li d b s x=2s k=+1 k=-1 2）光纤直径的测量