基于平行平板的折射率高精度非接触测量.pdfVIP

第 33卷 第 1期 应 用 光 学 Vo1．33N0．1 2012年 1月 JournalofAppliedOptics Jan．2012 文章编号 ：1002-2082(2O12)O卜O148一O5 基于平行平板的折射率高精度非接触测量 熊 芬，胡中文，姜明达 (1．中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所，江苏 南京 210042； 2．中国科学院 天文光学技术重点实验室，江苏 南京 210042；3．中国科学院研究生院，北京 100049) 摘 要：常用的测量折射率的方法如偏向角法、自准直法、临界角法、V棱镜法等，这些方法通常 需特制三棱镜与待测件。待测样品不一致且过程复杂，测试定标周期长，难于 自动化。为 了保 证待测材料的完整及实现 自动化测量，进行了基于平行平板 的折射率非接触测量的尝试。运用 该方法进行折射率的测量，不需特制三棱镜并且待测件与待测样品一致。分析表 明，通过选择 合适的测量角度，该方法旋转角度精度为 A一O．003。(即1O”)，导轨精度为 =：=0．0008mm，平 行平板厚度测量精度为Ad一0．001mm。 关键词 ：光学测量 ；折射率；非接触测量 中图分类号 ：TN206；TH751 文献标志码 ：A doi：10．5768／]A『O2O1233．0103010 Non-contactmeasurementofrefractiveindexbasedonparallelsurfaceplate X10NG Fen，HU Zhong—wen，JIANG Ming—da (1．NanjingInstituteofAstronomicalOpticsTechnology，NationalAstronomicalObservatories，CAS，Nanjing210042， China；2．KeyLaboratoryofAstronomicalOpticsTechnology，NanjingInstituteofAstronomicalOptics Technology， CAS，Nanjing210042，China；3．GraduateUniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Abstract：Sinceconventionalrefractiveindexmeasurementmethodssuchasleastdeviationan— gulartestmethod，auto—collimationmethodandcriticalanglemethodrequireasampleprism speciallymadeforsuchmeasurement，theyaretime—consumingandcomplicated．Non—contact measurementofrefractiveindexbasedonparallelsurfaceplatewasusedtoensuretheintegrity ofthematerialtobemeasuredandachieveautomaticmeasurement．Theresultsshow thatthe methodiseasytorealizeautomaticmeasurementanditsaccuracycouldbeachievedbychoosing apropriatemeasurementangles。TheobtainedrotationangleaccuracyisA 一0．003。(10”)，the guideprecision is△L一 0．0008mm andthemeasurementaccuracyofparallelsurfaceplate thicknessis△d=0．001mm ． Keywords：optiealmeasurement；non—contactmeasurement；ref