硅谐振式MEMS加速度计的研究进展及未来展望.pdfVIP

第31卷第2期功能材料与器件学报Vol.31,No.2

2025年4月JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSANDDEVICESApr.,2025

DOI:10.20027/j.gncq.2025.0009CSTR:32180.14.j.gncq.2025.0009

文章编号：1007-4252(2025)02-0071-17

硅谐振式MEMS加速度计的研究进展及未来展望

王金涛，刘飞，曹慧通”，李陈征，申燕超”，王永胜”，任天令

（1.清华大学集成电路学院，北京100084；2.北京自动化控制设备研究所，北京100074）

摘要：硅谐振式MEMS加速度计具有体积小、精度高、功耗低和抗干扰能力强等优点，是一种

应用前景良好的高精度MEMS惯性仪表，可广泛应用于惯性导航、地震监测和重力测量等领

域。本文总结分析了国内外主要科研机构关于硅谐振式MEMS加速度计的必威体育精装版研究进展，探

讨了优化硅谐振式MEMS加速度计性能的关键技术，包括结构设计、加工工艺、测控电路和封

装技术等，最后对硅谐振式MEMS加速度计的未来发展方向进行了展望。

关键词：硅谐振式MEMS加速度计；硅微加速度计；谐振式加速度计

中图分类号：TP212.9文献标志码：A

ResearchstatusanddevelopmenttrendofsiliconresonantMEMS

accelerometer

2

WANGJin-tao,LIUFei,CAOHui-tong,LIChen-zheng,SHENYan-chao,

1,*

WANGYong-sheng,RENTian-ling

(1.SchoolofIntegratedCircuits,TsinghuaUniversity,Beijing100084,China;2.BeijingInstituteof

AutomaticControlEquipment,Beijing100074,China)

Abstract:ThesiliconresonantMEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)accelerometeroffersseveral

advantages,includingsmallsize,highprecision,lowpowerconsumption,andstronganti-interference

capabilities,makingitahighlypromisinghigh-precisionMEMSinertialinstrument.Itcouldbewidely

usedinfieldssuchasinertialnavigation,seismicmonitoringandgravitymeasurement.Thisreview

summarizesandanalysesthelatestresearchprogressonsiliconresonantMEMSaccelerometersbymajor

researchinstitutionsdomesticallyandinternationally,discussesthekeytechnologie