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(仪器分析）12.4电子能谱和 与电子探针.ppt
第十二章 X射线光谱和表面分析法 第四节 电子能谱与电子探针分析法 12.4.1 Auger电子能谱分析法 12.4.2 电子微探针分析法与扫描电子显微镜 X-ray spectrometry and surface analysis Electron spectroscopy and electron-probes M+* → M+ + h? (荧光X射线) M+* → M+ + e (Auger电子) 两个过程竞争； 双电离态； 三 (或两)个能级参与； 标记：K LI LII；L MI MII 等； H、He不能发射Auger电子。 12.4.1 Auger电子能谱分析法 Auger electron spectroscopy 一、原理 Auger电子 X射线 激发电子 KL1L2 Auger电子的产生过程 Auger电子能量 (1)Auger电子动能与所在能级和仪器功函数有关； (2)二次激发，故与X射线的能量无关； (3)双重电离，增加有效核电荷的补偿数? (? =1/2～1/3)。 通式： Ew(Z) - EX(Z)：x轨道电子跃迁到w轨道空穴给出的能量； Ey(Z+? )：y轨道电子电离的电离能。 Auger电子产额 用几率来衡量两个竞争过程，发射X射线荧光的几率PKX；发射K系 Auger电子的几率PKX ，则K层X射线荧光产率： K层Auger电子几率产率： ?KA=1- ?KX Z14, ?KA 90%; 由图可见，Auger电子能谱更适合轻元素分析, Z32 。 Auger电子能谱图 锰的价态与形态分析。 二、 俄歇电子能谱分析仪（多功能） 激发源 试样装置 电子能量分析器 检测器 计算机 1. 激发源 X射线电子能谱：X射线管； 紫外电子能谱：He、Kr的共振线； Auger电子能谱：强度较大的电子枪(5～10 keV)。 2. 电子能量分析器 (1) 半球形电子能量分析器 改变两球面间的电位差，不同能量的电子依次通过分析器；分辨率高。 (2) 筒镜式电子能量分析器 （CMA) 同轴圆筒，外筒接负压、内筒接地，两筒之间形成静电场。 灵敏度高、分辨率低；二级串联。 3. 检测器 产生的光电流：10-3～10-9； 电子倍增器作为检测器； 单通道电子倍增器；多通道电子倍增器。 4. 真空系统 光源、样品室、电子能量分析器、检测器都必须在高真空条件下工作。 真空度：1.33?10-6 Pa 。 -刘宇- 此处是标题
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