bst热释电薄膜的缓冲层结构与性能分析word格式论文.docxVIP

目录目录第一章绪论.........................................................11.1 引言............................................................11.2 热释电红外探测器工作原理及材料性能指标..........................41.2.1 工作原理....................................................41.2.2 工作模式....................................................51.2.3 热释电材料性能指标..........................................72.4 薄膜电性能测试方法.............................................182.4.1 介电性能测试方法...........................................182.4.2 热释电系数测试方法.........................................19第三章靶材的制备..................................................22目录3.1 工艺过程.....................................................223.2 靶材的分析...................................................24第四章BST红外热释电薄膜BSR缓冲层工艺与性能研究264.1 缓冲层工艺与薄膜结构...........................................264.2 BST薄膜样品的制备264.3 BSR缓冲层的工艺参数对BST薄膜结构及电性能的影响研究274.3.1 BSR缓冲层的沉积功率284.3.2 BSR缓冲层的沉积气压304.3.3 BSR缓冲层的沉积氧氩比344.3.4 BSR缓冲层的厚度304.3.5 BSR对称缓冲层结构354.3.6 BSR缓冲层优化工艺的可重复性研究424.3.7 小结.......................................................44第五章BST薄膜红外单元探测器及性能分析455.1 红外探测器的主要性能指标.......................................455.2 探测率测试系统.................................................465.3 单元探测器结构.................................................475.4 单元探测器探测率测试...........................................48第六章结论........................................................51致谢.............................................................53参考文献...........................................................54攻硕期间取得的研究成果.............................................58第一章绪论第一章绪论1.1引言自然界中，红外辐射是所有物体所共有的属性。红外辐射电磁波谱范围在波长0.76μm～1000μm之间，具有相当宽的波谱宽度，并且不同物体的红外辐射又与其各自的热特性密切相关，这样的能量信息可以作为我们区别不同事物判断信息。因此开发出能高效侦测红外辐射信息的技术成为科学界研究的热点[1]。红外探测器技术的研究正是在顺应这样的趋势条件下飞速发展的，其中最引人注目的就是红外成像技术的研究。红外探测器通常分为光子型探测器和热释电红外探测器两大类[2]这样的分类是基于探测器的工作机理的不同而划分的，在光子探测器中红外辐射以光子的形式直接作用于探测器敏感材料，并改变电子的能量状态，以此来产生电学信号。此类探测器通常采用半导体材料作为敏感元，如HgxCd1-xTe等。光子型探测器对辐射波长选择性很强，这使得光谱响应宽度很窄(以PbS光电导探测器为例，只适用于探测1～3μm的近红外波段的红外辐射)。大部分光子探测器在工作时需要致冷。热释电红外探测