检测复杂内轮廓中圆弧面的新型光纤传感器特性研究.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 [\].Z-^\.* Z * 年 月 ! _‘4ab?65c ‘deba?a_5 e5fa5eeda5f _C@.- 文章编号 !#$%# ()*$#+,$+ ’ 检测复杂 内轮廓中圆弧面的 新型光纤传感器特性研究 ! 陆述 田 赵 勇 邹丽敏 - - 潍坊高等专科学校 山东 潍坊 (!. - /!*0 哈尔滨工业大学 自动化测试与控制系 黑龙江 哈尔滨 . - !*!) 摘要 介绍 了一种用于对复杂 内轮廓检测 的强度调制型光纤传感器 该传感器轮辐式 的光纤排列结构 1 - - 有利于补偿表面反射率不 同和光源波动等给测量带来 的影响2给 出并分析 了检测 圆弧形 内轮廓时传感 器 的特性 从仿真结果可见 这种传感器能较好地实现 圆弧型轮廓 的检测 问题 具有结构简单 非接触 2 - - 3 3 抗 电磁干扰及适合于现场使用等优点2本文为强度调制型光纤传感器用于 圆弧形 曲线面及复杂柱状 内 轮廓表面工件 的非接触检测提供 了必要 的理论基础和设计依据 2 关 键 词 内轮廓 光纤传感器 非接触检测 1 0 0 中图分类号 1 *+ 文献标识码 1 45 6 很小 的数值孔径 这样容 易获得较小 的光斑 56- 引 言 尺寸 以获得较高的横 向分辨力 而接收光纤则选 7 - 2 用数值孔径较大 的多模光纤 目的在于提高接收 - 纳米技术 超精加工技术 的出现 以及对产 品 光功率 以提高传感器的灵敏度 3 - 2 质量和可靠性要求 的不断提高 使得表面轮廓形 - 貌及尺寸检测仪器显得越来越重要 2对复杂 内轮 廓 如斜面 沟槽 螺旋线 来复线 圆弧面等 的非 ( 3 3 3 3 ) 接触检测 问题 一直没有得到很好的解决 原因是 - 2 复杂 内轮廓 内部空间有限 轮廓线形不规则 要求 3 - 传感器 同时具有较高的横 向分辨力和较大的动态 测 量 范 围 体 积 小 精 度 高 测 量 速 度 决