道康宁与东京应用化学合作开发的新型硅晶注入式双层光阻获使用于记忆体晶片的制造碳素石墨巨头西格里加速拓展亚洲新型材料市场.pdfVIP

圈：竺三三半!!竺苎 ·企业与新品介绍· 道康宁与东京应用化学合作开发的新型硅晶注入式双层光阻 获使用于记忆体晶片的制造 新光阻能免除硬光罩层的制程及提供更佳的 将所选择的部份移除。将道康宁创新的硅聚合物加 蚀刻选择性让半导体制程更简单、成本更低。 入东京应用化学的感光材料后，半导体制造商就能 全球材料、应用技术及服务的综合供应商．美 使用较薄的光阻层，以提高图案解析度并可让更小 Ohl【a 国道康宁公司与东京应用化学(Tokyo 的电路图案转印到目标晶圆而不必担心图案失真 问题。 K09y0)日前宣布，两家公司合作开发的新型双层 光阻已获得一家领先业界的D洲晶片制造商的 由免除多层光阻制程所需的硬光罩层和相关 采用，将首度用来量产记忆体晶片。这种新型双层 制程步骤，此新光阻可提供一套更符合成本效益的 微影制程解决方案。新光阻能同时适用于干式 光阻将道康宁硅聚合物用于成像层(ima西ng layer)，以提供较目前市场上其它产品更佳的蚀刻 (dry)和浸润式微影制程，浸润式微影是一种先进 选择性。 成像技术，正逐渐获得45姗及以下先进制程市场 光阻是一种经过光线照射后会变为可溶解或 的广泛接受。东京应用化学己成功利用新光阻在浸 不可溶解的光敏材料，因此能透过后续的蚀刻制程 润式微影环境制造出35nm的导线／间距图案。 碳素石墨巨头西格里加速拓展亚洲新型材料市场 “我们并不远离生活，每一个应用领域都需要 费天诺表示，“碳素将在体育、风能、航空、汽车等各 碳素石墨材料的解决方案。碳素作为节能的新型材 个领域得到广泛应用，不断融入我们生活的方方面 料，发展前景令人期待。”全球领先的碳素石墨材料 面，完成其他材料无法完成的使命。而西格里集团 及相关产品制造商西格里集团日前在一次媒体互 未来则将专注于新型材料的创新与发展，同时大力 动会上表示，集团计划在2011年前实现销售增长开拓亚洲市场，特别是中国市场。” 40％～50％的中期目标，加速拓展全球、尤其是亚 近年来，西格里集团逐步将其战略重心转移到 洲地区的新型材料市场。 亚洲，并从去年开始加大了开拓中国大陆市场的力 西格里集团新到任的全球新闻官费天诺指出： 度。据西格里集团中国区负责人韩伯雷和贺文介 在全球气候变暖趋势加强、环境污染日益严重的背 绍，从2005年到2007年的短短时间内，西格里集 景之下，诸多发展中国家迅速工业化，加剧了对材 团中国的员工人数从不足百人迅速上升到逾300 料和能源的需求，而原材料与能源供给不足，导致 人，预计明年员工人数将接近400人。与此同时，西 价格持续上涨。同时，环保问题备受关注，全球各国 格里集团在中国的投资力度也在不断增强。今年， 在进行大规模原材料贮备的同时，积极寻找替代能 西格里集团在中国相继成立了西格里泉海碳素(山 源，开发可替代材料。这两大趋势使得材料的更新 西)有限公司和西格里石墨技术(上海)有限公司，至 换代成为必然。碳素正因其质轻、高强度和节能等 此，西格里在中国的分公司达到5家。据悉，明年西 优秀物理特性成为备受关注的新型材料之～。 格里集团在中国还将有新的投资动向。 西格里集团2007年第3季度财报数字显示， 在谈及西格里集团在中国市场发展前景的展 与去年同期相比，西格里集团第3季度销售额增长 望时，两位负责人表示乐观，“中国市场潜力巨大， 17％，息税前利