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2017-08-13 发布于上海
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倒装再分布技术及应用 redistribution technology of flip chip and its application.pdf

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倒装再分布技术及应用 redistribution technology of flip chip and its application

第9卷，第12期电子与封装总第80期 V01．9。No．12 2009年12月 ELECTRONICSPACKAGING 薹，，71毫；g；t萄，‘囊：×if穆7,,，t童童：倒装再分布技术及应用任春岭，高娜燕，丁荣峥 (无锡中微高科电子有限公司，江苏无锡214035) 摘要：随着半导体技术的发展，封装工艺与圆片工艺的联系越来越密切，特别是倒装技术的发展及广泛应用。由CSP到WL—CSP，再到TSV技术，封装技术的发展越来越迅速。倒装技术是发展的关键技术，它包括再分布技术、凸点底层金属(UBM)技术、凸点制备技术、倒扣焊接技术和底部填充技术等。文章介绍了传统芯片通过再分布设计及工艺解决实现倒装工艺，为倒装技术以及新技术的开发和应用提供了良好的途径和广阔的空间。关键词：倒装芯片；再分布技术；UBM；凸点制备技术；底部填充中图分类号：TN305．94 文献标识码：A Redistributionof andIts TechnologyFlip Application Chip PEN Chun-hng，GAONa-yan,DINGRong—zheng Co．工以，Wuxi214035，Ch／na) (WuxiZhongweiHigh—techElectronics of andwafer Abstract：Withthe of relation developmentFlipchiptechnology．thepackagingtechnology areso hasbeen and CSPto technologyclose．EspeciallyFlipchiptechnologydevelopedwidelyapplied．From TSV ofElectrical isSO tech- WL-CSP，until technology，thedevelopmentpackagingtechnologyrapid．Thekey arethatredistribution ofFliptechnology technology,underbump nologieschip andundertill this isdiscussed technology，reflowtechnology technology．Inpaper,redistributiontechnology traditionalcan with redistribution well that by chip applyFlipchiptechnology technology，whichprovide and to