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MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器接口电路设计与测量技术研究.docx

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    MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器接口电路设计与测量技术研究

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    在生物检测领域，精准、快速且灵敏的检测技术始终是推动生命科学、医学诊断、食品安全监测等众多领域发展的关键力量。随着科技的飞速进步，对生物分子的检测需求不断增长，不仅要求更高的灵敏度和准确性，还期望能够实现实时、原位检测，以满足临床诊断、疾病预防和生物研究等方面的迫切需求。在这样的背景下，MEMS谐振式微悬臂梁生物传感器应运而生，凭借其独特的优势在生物检测领域中占据了重要地位。

    MEMS（MicroElectro-MechanicalSystem，微电子机械系统）技术的蓬勃发展，为微纳尺度下的传感器

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