塑料材质上装饰性薄膜的设计和制备.pdfVIP

插图清单 图l—l磁控溅射中电子的运动路径………………………………………。5 图1—2直流溅射沉积装置示意图…………………………………………．．5 图1—3直流模式下平面磁控棒阴极的设计结构和溅射行为……………．．6 图1—4射频溅射装置结构图………………………………………………．．7 图1—5孪生磁控靶中频溅射装置示意图…………………………………．．8 图1—6单磁控阴极溅射时气体放电激励类型……………………………．．8 图1--7双磁控阴极气体放电激励类型……………………………………～9 图l--8悬臂法测量应力示意图……………………………………………1l 图1--9X射线衍射法测量内应力装置示意图……………………………12 图2--1电磁波波谱图………………………………………………………13 图2—2波列与波列长度……………………………………………………14 图2—3反射光干涉和透射光干涉…………………………………………16 图2—4薄膜干涉……………………………………………………………16 图2—5多光束干涉…………………………………………………………17 图2—6膜系结构模型………………………………………………………18 图2—7膜系结构的光谱特性计算曲线……………………………………19 图2—8真空镀膜设备示意图………………………………………………20 图2--9膜系结构的光谱特性实测曲线……………………………………20 图3--l镀膜设备图…………………………………………………………23 图3—2工艺流程图…………………………………………………………23 图3—3溅射气体的分布系统………………………………………………30 图3—4实测的溅射角分布…………………………………………………．31 图3—5模板图………………………………………………………………32 图3—6基片位置图…………………………………………………………32 图3—7油扩散泵抽气特性曲线……………………………………………33 图4一l薄膜应力产生的两种形变…………………………………………35 图4—2高、低迁移率材料在蒸发过程中应力变化及其可能结构………38 图4—3溅射薄膜中理想应力一标准动量曲线……………………………40 图4—4处在拉伸状态下的薄膜引起的边界力及弯矩……………………41 图4—5热应力所引起的多层膜弯曲示意图………………………………43 图4—6多层膜受应力作用发生弯曲示意图………………………………44 图4—8ZnS／ThE4混合膜和多层膜的内应力………………………………47 图4--9具有稳定沉积流的生长中，体平均薄膜应力与平均薄膜厚度关系 示意图……………………………………………………………………．48 图4一lO MgF2基底上气相沉积Fe膜时平均薄膜应力与薄膜厚度函数关系 ………………………………………………………………………………………………………z18 独创性声明 本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。 据我所知，除了文中特别加以标注和致谢的地方外，论文中不包含其他人已经发表或撰写 过的研究成果，也不包含为获得 盒目B王些太堂 或其他教育机构的学位或证书而使 用过的材料．与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均己在论文中作了明确的说明 并表示谢意． U 学位论文作者签名：二上 签字日期力加7年，2月／日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解金gB王些太堂有关保留、使用学位论文的规定，有权保留 并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘，允许论文被查阅和借阅。本人授权—金 目l王些太堂可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印， 缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。 (必威体育官网网址的学位论文在解密后适用本授权书) 学位论文作者签名： 王箍 导师签名： 孑溺毒k I 签字日期：加净