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[自然科学]量测系统分析MSA20110918
HzT
Measurement Systems Analysis
Measurement Systems Analysis
量测系统分析
量测系统分析
台証科技股份有限公司
台証科技股份有限公司
蔡木順2011/09/18
蔡木順2011/09/18
1
内容提要
HzT
MSA概述
测量系统的统计特性
灵敏度（Sensibility）
偏倚、线形、稳定性
量测的重复性和再现性分析(GRR)
计数型测量系统研究
1
台証科技 MSA 2 蔡木順2011/09/18
MSA概述
HzT
测量系统分析 (MSA)是用于确定测量系统与公差相比
的误差。测量系统就是用来对被测特性之定量测量或
定性评价的仪器、标准、操作、方法、夹具、软件、
人员、环境和假设的集合；是用来获得测量结果的整
个过程。
量测时因上述变量的不确定性、随机因素、偶发因素
及失误等影响，造成了量测值的误差。
MSA的目的是要掌握这些量测误差的变源，加以管制
，企图还原被测特性的真值，协助产品顺利的出货提
供客户使用， 而不致遭到退货。
1
台証科技 MSA 3 蔡木順2011/09/18
量测过程如同真实的制程是需要管理的 …. HzT
量测过程如同真实的制程是需要管理的 ….
• Observations
Inputs Process Outputs Inputs Measurement Outputs • Measurements
Process
• Data
Parts
(Example)
第一步: 关键制程量测取值
第一步: 关键制程量测取值
第二步: 制程分析(RR….)
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