第十九讲真空溅射镀膜.pdfVIP

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第 53 卷第 6 期 真 空 VACUUM Vol. 53 ,No. 6 2016 年 11 月 Nov. 2016 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! ! ! ! 真空技术及应用系列讲座 ! ! ! ! 东北大学真空工程博士点,博士导师杨乃恒先生主持 ! ! 第一讲:真空科学的发展及其应 用 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 李云奇 95 (2 ) ! ! 第二讲:真空物理基 础 张世伟 95 (3 ) ! ! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! ! ! 第三讲:机械真空 泵(一)(二)(三)(四)(五)(六 )!!!! 张以忱 95 (4 )、(5 )、(6 )、96 (1 )、(2 )、(3 ) ! ! 第四讲:蒸汽流真空 泵 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 姚民生 96 (4 ) ! ! ! ! 第五讲:气体捕集式真空 泵 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 徐成海 96 (5 ) ! ! 第六讲:真空测 量 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 刘玉岱 96 (6 )、97 (1 )、(2 )、(3 )、(4 ) ! ! 第七讲:真空检 漏 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 关奎之 97 (5 )、(6 )、98 (1 )、(2 )、(3 ) ! !

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