三维高分辨工业X-CT系统.pdfVIP

高技术通讯 2002 . 08 三维高分辨工业 - 系统! XCT ＠ ＠ 王贤刚 郭志平 彭亚辉 张朝宗 田杰谟 （清华大学核能技术设计研究院 北京 ） 100084 摘 要 介绍了采用高分辨 面阵列探测器的微焦点三维 系统的基本结构，应用 CCD CT 基于Feldkamp 的近似三维重建算法获得了令人满意的图像质量。与以往用线阵列探测 器的 系统比较，该系统具有采集数据快，成像速度快，检测周期短的特点，可实现对被 CT 检测陶瓷样品 的检测。给出了使用该系统检测陶瓷轴承球的 （数字照相）及 100 % DR CT 图像。 关键词 CT，三维，微焦点，陶瓷 上，穿透样品后的 射线由 闪烁屏转换为可见 X CsI 0 引言 光，经光学系统由CCD 相机进行采集。后台计算机 随后对采集数据进行处理，完成数字照相或者三维 近年来清华大学一直进行着用于检测陶瓷零件 CT 重建。 的高分辨工业 的研究工作。在早期的工作中 美国 公司生产的 - 微焦点 射 - IRT HOMX 161 X X CT 已建成了两套微焦点 系统，其中采用了两种类 线机用作系统的 射线源，其最高电压为 单 - X 160 X CT 型的探测器。1990 年以图像增强器荧光屏作为探测 位，最大电流为3 .2mA，最大连续使用功率32W ，焦 ［］ 器的第一套 系统投入了运行1 。 年又建成 点尺寸5 ～200 m ，实际应用情况下焦点尺寸约 CT 1994 P 了具有 个分立探测器的第二套工业 - 系统， 20 m 。 256 X CT P 其探测器阵列由闪烁体 和光电二极管组成，但是 CCD 探测器使用的是 photometrics 公司的 CsI 其较差的空间分辨能力难以满足检测陶瓷零件的要 @Lantix 1600 科研级CCD 相机，具有噪声低，灵敏 ［］ 求2 。 年底以前，采用闪烁体光电二极管阵列 度高，采集速度快，和采集方式灵活等优点。其 1995 - 高分辨探测器的第三套 -