利用数字全息干涉术测量电路板的连续弯曲形变.pdfVIP

第20卷第8期 光学精密工程 V01．20NO．8 andPrecision 2012年8月 Optics Engineering Aug．2012 文章编号1004—924X(2012)08—1789—07 利用数字全息干涉术测量电路板的连续弯曲形变 杨德兴h，许增奇1，姜宏振1，付永辉2，王骏1，邵兆中2，赵建林1 (1．西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室 空间应用物理与化学教育部重，电实验室，陕西西安710072； 2．中国空间技术研究院西安分院，陕西西安710100) 摘要：采用离轴菲涅耳数字全息干涉术实现了对电路板表面的连续弯曲形变测量。在电路板两端依次施加0．01mill至 15mm位移载荷过程中，记录了l501幅全息图。通过相邻两幅全息图数值重建的复振幅相位分布相减得到干涉相位 差，根据相位差与离面位移的关系计算得到照明测量区域的离面位移，通过累加获得了施加1～15mill位移载荷时电路 板表面的弯曲形变测量结果。由5块相同规格电路板上照明测量区域中同一电容中心点的离面位移，计算得到测量结 5 果的A类不确定度不超过0．008miTt，加载夹具引起的测量结果的B类不确定度为0．003mill，测量结果的合成不确定 7 度不超过0．0081TIWI。实验表明这种利用离轴菲涅耳数字全息干涉术测量物体大位移连续弯曲形变的方法具有良好 的重复性和稳定性。 关 键 词：数字全息干涉术；离轴菲涅耳全息术；电路板；弯曲形变 ． 中图分类号：0438．1：TN407文献标识码：A doi：10．3788／OPE1789 Measurementofcontinuousdeformationforcircuit bending boards bydigitalholographicinterferometry YANG Hong—zhenl，FU De—xin91+，XUZeng—qil，JIANG Yong—hui2， WANG Zhao—shen2，ZHAOJian—linl Junl，SHAO (1．Shaanxi KeyLaboratoryofOpticalInformationTechnology，KeyLaboratoryofSpace and the Education，SchoolScience， Applied Chemistryof Ministryof of Physics 7an Northwestern 710072，China； PolytechnicalUniversity，Xi 2．China 7an)，Xi’an710100，China) AcademyofSpaceTechnology(Xi author，E-mail：dzya ： *CDrrPs夕。佗di咒g ng@nwpu．edu．cn measurement