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多层高反膜的理论设计与光学特性分析.pdf
第33卷第5期 同济大学学报(自然科学版) V01．33No．5 2005年5月 J01瓜NAI．OFTONGJIUNIVERSITY(NATURALSCIENCE) May2005 多层高反膜的理论设计与光学特性分析 沈 军，王 珊，吴广明，杨 帆 (同济大学物理系，上海200092) 摘要：从理论上对光学多层介质反射膜作了设计，用堆积密度的概念模拟了溶胶一凝胶法制备的纳米多孔薄膜的 折射率；利用反射率增幅分析与膜层制备难度分析来选择理想的膜系设计；通过计算分析了经典四分之一波长膜 系的光学特性，包括薄膜膜层的驻波场分布和镀膜过程中的随机误差对膜层反射率曲线的影响，为多层高反膜的 化学法制备与实际应用提供了重要依据． 关键词：多层介质反射膜；堆积密度；溶胶一凝胶；反射率 中图分类号：0484．41 文献标识码：A and of Anti--reflective DesignAnalysisOptical Multi·—layer DerivedfrOmSol—GelProcess Coatings SHEN Fan Jun，WANGShah，WUGuang-ming，YANG of (DepartmentPhysics，TongjiUniversity，Sbanghai200092，Claim) Abstract：Theand calculationof designperformance optical coatings derivedfrom weremadeEssentialMacloed of sol-gelprocess by concept program：the packingdensity wasusedto the itisalsoaconvenientof variablere— modifynano-porous coatings，and wayintroducing fractiveindex．Thebest waschosenthereflectanceandrelative design by sensitivityanalysis．Optical of AR were distributionofelec— calculated，for performancesquarter-wavelayercoatings example，the tricfieldinsidedifferentandtheinfluenceofthicknesserrorstothe resultsCan layers reflectivity．These tothe givegoodguides practicalcoatingpreparation． words：anti—ref
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