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第 11 卷 第 4 期 光学 精密工程 Vol . 11 No . 4
2003 年 8 月 Aug . 2003
Optics and Precision Engineering
( )
文章编号 1004924X 2003
直线驱动磁悬浮进给机构的研究
1 ,2 2 1 1 1
孙宝玉 , 梁淑卿 , 宋文荣 , 王延风 , 何惠阳
( 1. 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 ,吉林 长春 130022 ;
2 . 长春工业大学 机电学院 , 吉林 长春 1300 12)
摘要 :分析了传统机械进给机构的特点 ,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构 ,此机构采用
直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力 。这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦 、弹性变形 、滞后和非线性
误差 ,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向。针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机
的结构 ,并对直线电机产生的磁力进行分析计算 。直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应
快速 、刚度高以及定位精确的特点 ,能够满足微电子设备高精度 、高效率和超洁净加工的需要 。
关 键 词 :直线驱动 ;磁悬浮平台;直线同步电机 ;数字 PID 控制
中图分类号 : TN403 文献标识码 :A
Linear drive technology and its appl ication to a magnetic
levitation stage in the microelectronic f iel d
SUN Baoyu1 ,2 ,L IAN G Shuqing2 , SON G Wenrong1 ,WAN G Yanfeng1 ,HE Huiyang1
( 1. Changch u n I ns t it ute of Op t ics , Fi ne M echanics an d Phys ics ,
Chi nese A cademy of S ciences , Changch u n 130022 , Chi na ;
2 . Changch u n Univers ity of Tech nology , A cademy of M echanic
an d Elect ronic E ng i neeri ng , Changch u n 1300 12 , Chi na)
Abstract : Having analyzed t he feat ures of t he conventional mechanical drive mechanism , a new kind of p re
cision po sitioning st age is p resented in t his p aper , which adopt s bot h magnetic levit ation and linear drive
technologies. This drive mechanism p rovides power wit h a linear synchronous motor avoiding friction ,elas
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