电真空材料与工艺一.pptVIP

2.2非难熔金属（三）铝（Al）及铝合金性质：导电性好；导热性好、塑性好、易加工。密度2.7克/厘米3缺点：熔点低（658℃），高温强度差。用途：管外零件为主。牌号：L1、L2硬铝（AL-Cu-Mg）、（Al-Cu-Mn）牌号：LY11、LY12第30页，共55页，星期日，2025年，2月5日2.2非难熔金属（四）铁（Fe）及铁合金性质：与镍相似；熔点为1537℃，密度7.87克/厘米3缺点：去气困难、易生锈用途：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽第31页，共55页，星期日，2025年，2月5日不锈钢：含铬17～19%，含镍9%左右的1Cr18Ni9如果再加入0.8～1%的钛，则就成为1Cr18Ni9Ti。作为器件本身的结构件，也可以做真空系统的管道和各种连接法兰。作模具材料（黑化）。第32页，共55页，星期日，2025年，2月5日2.3贵金属金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种金属特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性。用途：利用其导电、导热性好作为引线、或者在波导内壁镀敷金、银；作为焊料，如金、银、钯；铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的过度材料。第33页，共55页，星期日，2025年，2月5日第三节常用介质材料电真空器件的结构材料，除了大量使用各种金属和合金外，还广泛使用各种介质材料，如玻璃、陶瓷、云母、硅橡胶、聚四氟乙烯和衰减材料等等。主要介绍：陶瓷‥普通陶瓷：高岭土的化学成分中含有大量的AL2O3、SiO2和少量的Fe2O3、TiO2以及微量的K2O、Na2O、CaO和MgO等。第34页，共55页，星期日，2025年，2月5日3.1电真空陶瓷的特性（一）优点：1、陶瓷能在高温（达800℃）下正常工作；2、介质损耗小；3、可以加工得到精确的尺寸；4、陶瓷的机械强度、化学稳定性、绝缘性能等等都优于玻璃。不足之处：不透明，制造和封接工艺相对比较复杂‥第35页，共55页，星期日，2025年，2月5日3.1电真空陶瓷的特性（二）用途：1、管壳2、输能窗3、支撑件4、绝缘件通常同一陶瓷零件同时起两三种作用‥第36页，共55页，星期日，2025年，2月5日3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（1）真空性能a、气密性：阻止电真空器件外部的大气通过陶瓷进入器件内部的能力；b、放气性‥第37页，共55页，星期日，2025年，2月5日3.1电真空陶瓷的特性（三）性能：（2）热性能包括：导热系数、膨胀系数和热稳定性a、导热系数物理意义热的来源危害‥第38页，共55页，星期日，2025年，2月5日常用材料导热系数（单位：W/cm·K）Al2O3瓷0.1~0.3氧化铍瓷2银4.29铜3.86金3.17铝2.37铁0.8第39页，共55页，星期日，2025年，2月5日第1页，共55页，星期日，2025年，2月5日第2页，共55页，星期日，2025年，2月5日提出性能指标理论计算结构工艺设计成品管测试第3页，共55页，星期日，2025年，2月5日第一章微波电真空工艺特点和电真空材料

什么是微波电真空器件？利用电子注与高频场的相互作用而实现微波能量的产生和放大的器件工作环境：真空电子注与高频场的复杂性，决定了它的研制必然是一种知识、技术密集型的过程。第4页，共55页，星期日，2025年，2月5日第一节电真空工艺特点1、使用材料广泛而特殊广泛：包含了自然界中70%以上的已知元素金属及合金、气体、介质材料、化学材料、特殊材料第5页，共55页，星期日，2025年，2月5日介质材料：玻璃陶瓷云母聚四氟乙烯、硅橡胶、环氧树脂、……第6页，共55页，星期日，2025年，2月5日化学材料：硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、汽油、三氯乙烯、四氯化碳、……第7页，共55页，星期日，2025年，2月5日特殊材料：发射材料、吸气材料、发光材料、封接材料、二次电子发射材料、磁性材料、…第8页，共55页