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硅片平整度知识讨论IQC2006-4-20

硅片平整度知识讨论主要内容如下：1、硅片平整度定义；2、硅片平整度测量；3、硅片平整度规范4、硅片使用中异常举例

平整度SEMI标准关键字注释习惯用语SEMI标准用语新SEMI标准关键字注释TTVGBIRGlobalflatnessbackidealrangeTIRGFLRGlobalflatnessfrontleast-squaresrangeSTIRSFQRSiteflatnessfrontleast-squaresrangeLTVSBIRSiteflatnessbackidealrangeFPDGFLDGF3DGlobalflatnessfrontleast-squaresdeviationGlobalflatnessfront3pointdeviation

TTV(TotalThicknessVariation)说明：参考平面B为Wafer背面

TIR(TotalIndicatorReading)说明：参考平面(bf)G为距上表面所有点截距之和最小的平面；

FPD(FocalPlaneDeviation)定义：FPD=±Max(|a|,|b|)(SEMI标准中为GFLD)说明：如果|a||b|，则FPD取正值；反之取负值；参考平面G(bf)为距Wafer上表面所有点截距之和最小的平面；0102

Warp定义：Warp=|a|+|b|说明：参考平面M为距曲面Medianplane所有点截距之和最小的平面；不考虑重力影响；12

Bow定义：Bow=1/2*(b-f)3mm120°说明：1.参考平面W以Wafer上三点确定，此三点组成一等边三角形2.凸的WaferBow值为正，凹的WaferBow值为负；120°

LTV(LocalThicknessVariation)说明：参考平面B为Wafer背面；LTVmax=Max(LTV1,LTV2,...,LTVn)

STIR(SiteTotalIndicatorReading)说明：1.参考平面Gi通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bfG；2.G为距单元块上每一点截距最小的平面；3.STIRmax=Max(STIR1,STIR2,...,STIRn)；

STIR/L-Site(SiteTotalIndicatorReading)说明：1.参考平面bfGi为距单元块上每一点截距最小的平面；2.STIRi/Lmax=Max(STIR1/L,STIR2/L,...,STIRn/L)；

SFPD/L-Site说明：1.|a||b|,取正值；|a||b|,取负值；2.参考平面bfLi为距单元块上每一点截距最小的平面；3.SFPD/Lmax=Max(SFPD1/L,SFPD2/L,...,SFPDn/L)

SFPD/G-Site说明：1.|a||b|,取正值；|a||b|,取负值；2.参考平面Gi通过每一单元块的中心且平行于wafer上表面的拟合平面bfG；3.SFPD/Gmax=Max(SFPD1/G,SFPD2/G,...,SFPDn/G)

SiteFlatnessSEMIStandard3pointBestFitSiteBestFitFQAMeasurement

MethodReference

SurfaceReference

PlaneandAreaReference

PlaneandAreaReference

SurfaceSiteSize

and

ArrayParameterParameterGBIRGF3RGF3DGFLRGFLDSF3RSF3DSFLRSFLDSFQRSFQDSBIRSBIDRangeRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationRangeDeviationParameterParameterParameterParameterParameterReference

PlaneandAreaReference

PlaneandAreaS-TIRS-FPDS-TIRS-FPDS-TIRS-FPDLTVS-FPD

Semi用语現行习惯用语TTVTIRFPDTIR

NTVFPDFrontRef.CenterFocusBackRef.