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稳定流动状态下流量守恒串连：并连：串连时总流导小于任何连接的流导本文档共64页；当前第29页；编辑于星期六\16点47分(4)泵抽速S泵入口处单位时间抽入的气体体积(6)泵的有效抽速（实际抽速）当一个容器由一根管道连接到泵进行抽气时，在容器出口处的抽速。(5)泵抽除量R表征泵的抽气能力R=P1S本文档共64页；当前第30页；编辑于星期六\16点47分实际抽速的计算：S=Q/P=截面积*流速系统实际抽速Q=Sp·Pr=S·P=C(P-Pr)本文档共64页；当前第31页；编辑于星期六\16点47分真空计的位置p0,S0p,S实际压强要比测量压强高本文档共64页；当前第32页；编辑于星期六\16点47分（7）极限真空度只考虑泵抽气过程总存在气体回流量Qp净流量：令Q=0,求出极限真空度本文档共64页；当前第33页；编辑于星期六\16点47分分离变量，积分得：其中：Pi为真空室初始真空度（t=0）P0为真空室极限真空度（t→∞）Pt为真空室某一时刻真空度本文档共64页；当前第34页；编辑于星期六\16点47分第四节.抽真空和抽真空设备一、抽真空是利用各种真空泵将被抽容器中的气体抽出，使该空间的压强低于一个大气压的过程。可有多种方法实现抽真空真空泵：抽真空的装置本文档共64页；当前第35页；编辑于星期六\16点47分3.抽真空和抽真空设备二、真空泵目前常用的真空泵主要有：旋转式机械真空泵、油扩散泵、复合分子泵、分子筛吸附泵、钛升华泵、溅射离子泵和低温泵等。前三种属于气体传输泵，后四种属于气体捕获泵。能使压力从一个大气压力开始变小，进行排气的泵常称为“前级泵”；另一些却只能从较低压力抽到更低压力，这些真空泵常称为“次级泵”。本文档共64页；当前第36页；编辑于星期六\16点47分（1）旋转式机械真空泵机械泵：凡是利用机械运动以获得真空的泵，因用油来进行密封，所以属于有油类泵。原理：利用机械力连续抽气、压缩排除气体。本文档共64页；当前第37页；编辑于星期六\16点47分工作过程：气体从入口进入转子和定子之间偏轴转子压缩空气并输送到出口气体在出口累积到一定压强，喷出到大气工作范围及特点：大气压?10-3torr耐用，便宜油润滑，污染本文档共64页；当前第38页；编辑于星期六\16点47分旋片式机械泵工作示意图本文档共64页；当前第39页；编辑于星期六\16点47分理想情况下，旋片转动半周后，腔体内压强：n无限大时，p趋向0；极限真空pm有害空间排气空间与吸气空间的间隙泵油气的循环本文档共64页；当前第40页；编辑于星期六\16点47分本文档共64页；当前第41页；编辑于星期六\16点47分特点:1.体积小、重量轻、结构简单工作可靠、经济耐用。2.设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；但降低系统的真空度。3.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体，易燃易爆的气体。4.抽真空的能力不好。5.润滑油的回流和会发会对真空系统造成污染。本文档共64页；当前第42页；编辑于星期六\16点47分(2)扩散泵本文档共64页；当前第43页；编辑于星期六\16点47分（一概述）油扩散真空泵是用来获得高真空和超高真空的主要设备，广泛用于电子工业、化学工业、真空冶炼等高科技领域。油扩散泵的工作压力范围10-1－10-６Pａ，其极限压力是10-8Pa。油扩散泵一定要在压力低于40Pa的时候才能开油扩散泵，分子泵则要低于1Pa才能启动。本文档共64页；当前第44页；编辑于星期六\16点47分（二）油扩散泵工作原理接机械泵扩散泵油被泵外电炉加热产生油蒸气油蒸气沿蒸气导管上升到管顶油蒸气经伞形喷嘴向下喷出产生射流气体分子与射流中油分子碰撞发生动量交换气体分子与射流一起向下运动油蒸汽与水冷的泵壁相遇而冷却回流气体分子则被带到排气口附近被抽走本文档共64页；当前第45页；编辑于星期六\16点47分扩散泵的压缩比n蒸汽流分子密度,v蒸汽流在喷口处的速度，L射流的有效长度，D0=ND,D气体分子在油蒸汽中的扩散系数,PL前级泵的压强，Pu真空室的压强。讨论：n,v,L,K越大，D越小，抽气效果越好