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粘晶作业指导书 受控状态 实施日期 2010-01-20 硅片生产部 试行 实施责任者 车间主管 适用范围 适用于硅棒粘晶作业。 对象产品 晶体 使用设备 使用材料 SGR 40-06超声波、电子秤、烘箱、 刮刀、配重压块、胶水（Q-BOND-1MR及AD1339-A）、酒精、丙酮、杯托、单面胶带、美工刀片、板刷、直角尺、记号笔。 关键参数 作业步骤与方法 玻璃与工件板粘接 步骤： 1、检查工件板上是否有螺丝断在里面。（螺丝数《 =3颗可以使用） 2、用美工刀片清洁工件板上残胶。 3、用砂纸在工件板上反复打磨。 4、用酒精将工件板面清洁干净。 玻璃的选择： 1、 玻璃表面喷砂均匀 、无破损。 2、根据棒子尺寸大小选择所需要粘用玻璃的尺寸。 3、用纸、酒精清洁玻璃表面污垢，用刷子将玻璃表面纸削处理干净。 粘工件板用胶量 美国胶与日本胶比例各为：1 ：1 NTC442工件板：1、日本胶 2、6、5 寸玻璃 ： 13.5`~14.5g 6、25 寸玻璃 ： 13.0~13.5g 6、0 寸玻璃 ： 12.7~13.0g MB265工件板： 1、日本胶 2 、所有类型玻璃：10克左右（9.5~10.5g） （工件板与玻璃粘接必须在2min以内迅速抹平抹均匀后压上配重） 工件板与玻璃粘胶后30分钟后方可取下配重； （备注： 所有使用的玻璃需经过超声处理5~10分钟） 二、 玻璃与晶体粘接： 将晶体放置超声池内超至10~15分钟（水面高出晶体上表面20mm） 粘晶面选择：用直角尺选择出最长面放于侧面（即：钢线切割的进线端） 垂直度较好端面放于头部； 清洁晶体粘胶面 ： 用水擦拭至纸面无污垢； 用酒精反复擦拭至晶体表面洁净； 用美纹胶带贴于晶体粘胶面两侧圆弧倒角处。 粘晶用胶量： NTC442：1、美国胶 2、n/100 x 3.5(g) =g（n：总长度 6.0~6.25寸晶体） n/100 x 4(g) =g (6.5寸晶体) MB265 ：1、日本胶 2、n/100 x 5.5(g) =g（6.0~6.25寸晶体） n/100 x 6.0(g) =g（6.5寸晶体） 三、粘晶 步骤：1、NTC 442机型使用美国胶粘晶。 2、MB 265 机型使用日本胶粘晶。 3、在粘晶之前自检所粘晶体是否有大的崩边、表面亮点、倒角圆角等不良晶体，及时向上级反映情况。 4、必须用尺子测量晶体长度是否与工艺单上所填写的一致。 5、用尺子笔将工件板头部距离标准确 (3~5)mm，随后等待粘晶 6、用酒精反复擦拭至玻璃表面洁净后，用美纹胶带贴于玻璃两侧棱面。 7、将配好的胶快速搅匀后，均匀抹于粘晶面.。（日本胶 ：时间在2min以内；美国胶：时间控制在30min以内） 8、晶体粘好后需确认头部距离相等，晶体放置于玻璃板中央 （即：粘胶面晶体两侧倒角需于玻璃两侧棱角相吻合） 四、清胶要点： 1、日本胶 当晶体粘好后，快速清理晶体两侧倒角及两端溢出的胶水，时间控制在3分钟之内。 2、美国胶 当晶体粘好后，清理两端溢出的胶水，随后相隔25分钟后刮去倒角处的胶水。 3、在胶水没有硬化之前不准用酒精擦拭，以免造成在清洗过程中，晶片上的胶印洗不干净。 五、当晶体粘好后至胶水凝固1小时后取下配重。 六、导向条选用垂直较好的贴置于晶体表面。（导向条长度略小于所贴晶体长度，限用于MB265机型） 七、接棒粘晶 P1-1与P1-2 之间间隔距控制在4mm~6mm p1-1 p2-1; p1-2 p2-2; 晶体p1-1与p2-1 长度差小于5mm以内。 如图： C1 = C2 八、烘烤工件板 工件板放于烘箱内隔层的中上层。