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2018-05-05 发布于河南
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K465I Alarm 集合

K465I Alarm 集合 011:Facility 1 Fault HW 012: Facility 2 Fault 013: Facility 3 Fault 014: Facility 4 Fault 015: Facility 5 Fault 022: H2 Inlet pressure Low 023:N2# 1 Inlet pressure Low 024:N2# 2 Inlet pressure Low 027:NH3 # 1 Inlet pressure Low 028:NH3# 2 Inlet pressure Low 030:SiH4 # 1 Inlet pressure Low 033:CDA Pressure 034:Facility N2 Pressure 035:Alkyl Manifold Pressure 040:Heat Exchanger 1 H2O Level 041: Heat Exchanger 1 H2O Flow 042: Heat Exchanger 1 Temp Fault 043:H2O Flow Swith 1-1 044:H2O Flow Swith 1-2 045:Heat Exchanger 2 H2O Level 046:Heat Exchanger 2 H2O Flow 047:Heat Exchanger 2 Temp Fault 048:H2O Flow Swith 2-1 049:H2O Flow Swith 2-2 053:Heater Base Coil #2 H2O Flow Alarm 054: Heater Base Coil #1 H2O Flow Alarm 055:Spindle H2O Flow Alarm 056:Base Plate – Bottom Flange – Pyro Port 057:Exhaust H2O Flow Alarm 058:Spindle Motor H2O Flow Alarm 059:Cooling Band H2O Flow Alarm 060:Electrodes Flow Alarm 073:Rcactor Overpressure(HW) 082:PEA Process Exhaust(HW) 083:PEA Cabinet Ventilation(HW) 084:PEA Process Exhaust Overpressure 085:Process Pump # 1 Stopped 087: Process Pump # 2 Stopped 091:Process Stop Button 100:Hub Overpressure HW 117:SDA RHA THA Cabinet Ventilation 118:Inner PID Ctrl OverTemp 119:Middle PID Ctrl OverTemp 120:OUTER PID Ctrl OverTemp 121:Pyro OverTemp 122:H2 Detector 132:F9 Fuse Fault 133:F10 Fuse Fault 134:F11 Fuse Fault 135:F12 Fuse Fault 136:F13Fuse Fault 137:F14 Fuse Fault 138：Dout Power Status 140:Watchdog Alarm – PLC 141:Facility Fault – PLC 142:Reactor OverPressure – PLC 143:PEA Process Exhaust – PLC 144:PEA Cabinet Ventilation – PLC 145:Process Exhaust OverPressure – PLC 146:Ebara Pump Stoped – PLC 147:Process Stop Button – PLC 148:Hub OverPressure – PLC 149:SDA RHA THA Cabinet Ventilation – PLC 150:Inner PID Ctrl Overtemp – PLC 151:Middle PID Ctrl Overtemp – PLC 152:Outer PID Ctrl Overtemp – PLC 153:Pyro Overtemp – PLC 154:H2 Detector – PLC 157:Water Flow Meter – PLC 160:PLC ShutDown 161:PLC PS Disable 190:PID Control Com Fault 191:Sek