不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究.pdfVIP

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2017-12-28 发布于北京
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不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究.pdf

真空科学与技术学报第29卷第5期 SCIENCEANDTECHNOLOGY CHINESE OFVACUUM 2009年9、10月 JOURNAL 不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究高璇辛煜+黄晓江宁兆元 (苏州大学物理科学与技术学院，薄膜材料江苏省重点实验室苏州215006) ofMiniaturized andCharacteristics DrivingFrequencies PlasmaSources InductivelyCoupled Gao Xuan，XinYu。，Huang Zhaoyuan Xiaojiang，Ning Tin Scienceand 215006，Ch／na) Films，Shod techology，SuzhouUni概sity，Suzhou (Jiangsu研Laboratoryof ofPhysial AbstractAnovel oftheminiaturized sourcewas of developed．The type inductivelycoupledplasma impactsthe叩- asthe the emtingconditions，suchpower，drivenfrequency，andgastemperature，oncharacteristics，includingplasma input and studiedwith and emission curve，were optical spec— density，electrontemperaturecurrent—voltage Langmuirprobe results affectsthe ofthe in— showthatthe troscopy(OES)．The drivingfrequencysignificantly propertiesplasma．For the and／orthe increases，the ofthe s|a／ice，as power frequency powerabsorptionplasma input driving withan anda electron riseswith