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机械传动 2010矩
文章编号：1004一z539(2010)06一0036—03
基于准LIGA技术的微齿轮制作
张立勇王长路路明张元国
(郑州机械研究所，河南郑州450052)
摘要利用准LIGA技术可制造出固定的或可转动的金属微结构，被看作是影响下世纪微机械加
齿轮，齿轮结构清晰，表面和齿廓曲线平滑，侧壁陡直。
关键词微齿轮准LIGA技术微电镀
FabricationofMicroGear Process
UsingQuasi-LIGA
Lu
WangCh锄glu Ming孤Yuanguo
撕Liyong
InstJnlte0fMechanical
(压舶庐啪m嘲rclI Engineering，压∞—跏450052，嘶)
AbstractThefixedorrotatablemetallicmicrostructurecanbeobtained
byusingquasi-LIGA
LIGA is thatcaninfluenceonthe ofnext
technologyregarded鹪animportanttechnology micro-machiningcentury．The
manufacturebasedonthe themicro with
isintroduced，and
technology quasi·LIGAtechnology gearsamplesparameters
ofm=0．1mmandZ=20isfabricated．Thestructureofthemicro isclear．thesurfaceandthetooth
gear profile
curveare theside-wallisvertical．
smooth，and
wordsMicro Micro
Key gearQuasi—LIGAtechnologyeating
用范围，在航空航天、国防军事、生物医学、化学化工等
0引言
领域具有广阔的应用前景。
微电子机械系统(MEMS)是微电子技术与机械、光 在微齿轮的制作工艺中，种子层、厚胶光刻、微电
学、电子等领域交叉融合的产物，是在IC工艺技术基 镀是关键技术，直接影响到微齿轮的性能和可靠性。
础上的延伸与拓展，是微电子应用的新突破。1986年
1 准LIGA技术
由德国科学家发明的uGA(Lithography，Electrofonning，
准LIGA技术采用普通的紫外光作光源，可加工
Molding)技术被看作是MEMS制作硅工艺的重要补充，
在微机械特别是高深宽比微构造的制作上占有很重要 出较高精度的微结构产品，且加工温度
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