小型离子阱技术及其航天应用进展.pdfVIP

10 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 2014年 第33卷 第 l2期 DOI：10．13873／J．1000-9787(2014)12--0010--03 小型离子阱技术及其航天应用进展 李 琦，邓一兵，黄 刚 (中国航天员科研训练中心，北京 100094) 摘 要：公共治安、食品安全、环境保护、工业生产过程监测和载人航天及深空探测等领域急需微小型质 谱仪，用于成分在线检测与分析。离子阱质谱仪较其他质谱仪具有真空度要求低、操作灵活和串联质谱性 能良好等优点，更加适合进行小型化和微型化。对小型离子阱质谱、MEMS离子阱质谱的发展及其在航天 领域的应用进行总结，试图找出制约离子阱质谱小型化发展的主要技术瓶颈 ，并提出了解决途径。最后对 微小型离子阱的发展及其在航天领域的应用前景进行了展望。 关键词：微机电系统 ；质量分析器；小型化；离子阱；航天 中图分类号：TH162 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2014)12-0010--03 Technology0fminiatureiontrap and itsspace ■ · - application Progress LIQi，DENGYi-bing，HUANGGang (AstronautResearchandTrainingCenterofChina，Beijing100094，China) Abstract：Thefieldsofpublicsecurity，foodsecurity，environmentalprotection，industrialprocessmonitoringand mannedspace and explorationsneed miniature massspectrometersin emergency，which isused foron-line detectionandanalysisofcomposition．Thevacuum degreerequirementofiontrapmassspectrometerislowerthan thoseofothermassspectrometer，andoperatingperformnaceofiontrapmassspectrometer(MS)hasadvantages suchasflexiblenad tandem MS，more suitable forminiaturization and micromation．Miniature ion trap mass spectrometer，developmentofMEMS ion trap mass spectrometernad its application in field ofspace are summarized，maintechnicalbottlenecksofiontrapmassspectrometerinminiaturizationistriedtofindoutand solutionsareputforwrad．Intheend，developmentofminiatureiontrapanditsapplicationprospectinthefieldof spaceisdiscussed． Keywords：MEMS；massspectrometer；miniaturization；iontrap；space 0 引 言 1