有关洁净室检测的几个问题.pdfVIP

有关洁净室检测的几个问题 涂光备 i津^学环境科学与I程研究院 燕m大学建筑I程与力学学院 涂 有 i津海*空调净化技术咨询有限。目i顺剐周安挪 —— JGJ71一90洁净室施I殛嘧嫂规范C洼) 面积 {m2l 100级Ⅱ高于100级 1000级 __—— (10 2-3 2 2『 2 4 3 2 2 8 6 2 2 38 40 6 16 13 4 2 1 00 1O 40 32 1 0 3 200 1 4 80 63 20 6 400 20 1 60 126 40 1 3 1 000 32 400 316 1 OO 32 2000 40 800 633 200 63 注：表中面积的含义是：对于单向流(层流)洁净室，是指送风面面积，对于乱流洁净室，是指房间面积。 2各采样点的单次采样量 当所选最大粒径的粒子浓度处于指定的国际标准ISO 时(见本章附录1、附录2)，要保证在每个采样点的单次采样空气量中，至少能检测出20个粒子，这才能满足从统 计学角度认定测量的可靠性，以此判定单次采样量是否符合基本需要。此外，从采样空气量和采样时间测定的可靠 性考虑，也给定了下限值。所以，每一采样点的单次采样量应按下式确定： sV0—2—： =——1X1000…………………………………(2)…………………………………【2J Cn 式中：VS每个采样点单次最少采样量，以升表示(L) Cn相关等级规定的所选最大粒径的等级限值(pcs／m3) 20假如粒子浓度处于空气洁净度等级限值，应被仪器测得的最少粒子数(pcs) 举例计算如下： 由附录洁净室选列的悬浮粒子洁净度等级表中可以查到各洁净度等级相应粒径的粒子浓度限值。 lS0 020 1000=19．6L 4级，若以0．3tJnq为准，Cn=1 pcs／m3，Vs=20／1020x 1000=2L 若以O．1um为准，Cn=10000pcs／m3，Vs=20／10000x 计算结果表明，若以0．3IJm粒径为检测依据，则lSO4级每测点单次采样量为19．6L，而若以O．1um为准，则单 次采样量为2L。 SO5级，若以0．3um为准，Cn=10200 0200x1000=1．96L pcs／m3，Vs=20／1 若以0．5um为准，Cn=3520 1 000=5．68L