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多层膜优化设计方法.pdf

·50· yygx205901@sina.eom应用光学J.AppliedOptics 文章编号:1002—2082(2005)05一0050—04 多层膜优化设计方法 王洪昌,王占山 (同济大学精密光学工程技术研究所物理系,上海200092) 摘要: 传统多层膜设计所用的全局寻优法的速度非常慢,有时还很难得到理想的膜系。根据Frensnel反射系数 公式计算多层膜的反射率,利用单纯形法对软x射线和x射线波段多层膜进行调优,可在短时间内优化出最接近目 标光学性能的多层膜膜系结构。计算了不同波长软X射线周期性多层膜的最高理论反射率。单纯形调优算法在保证 优化结果与随机有哪些信誉好的足球投注网站法优化结果近似相同的基础上,使优化计算速度提高了十倍以上。同时还用单纯形调优法优化 设计了X射线超反射镜,得到了非常理想的非周期膜系。 关键词:软X射线;X射线;多层膜;单纯形调优;反射率 中图分类号:0484.41—32 文献标识码:A The and Methodof Film OptimizingDesigning Multilayer WANG Zhan—shan Hong—chang,WANG ’ ofPrecision of (Institute OpticalEngineering,DepartmentPhysics,Tongji the methodusedinthetraditional is slowanddifficultto Abstract:Since multilayerdesignvery globaloptimizationseeking anidealfilm methodbasedonthewell—knownFrensnel and is get system,anoptimizing equationssimplexoptimization a usedinthe of elementof forsoft and theoretical of softX— optical multilayerX—ray X—ray.Thehighest reflectivity design as calculatedtherandom atdifferent iscalculated.andtheresultsaresamethose rayperiodicalmultilayer wavelengthes by is fasterthantherandomsearchmethod.The searchmethod,butthe ofthe much computingvelocitysimplexoptimization is in ofthe theidealresultisobtained. methodalsousedthe super—mirror,and

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