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第二部分硅基薄膜太阳电池 ·383· P层带隙对微晶硅太阳能电池性能的影响 刘石勇 曾湘波’ 彭文博 姚文杰 谢小兵 王 超 王占国 (中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京100083) 摘要研究了P层带隙对微晶硅太阳能电池性能的影响。微晶硅(肛c—Si)太阳能电池采用等离子体增强 化学气相沉积(PECVD)技术制备。实验结果表明氢稀释比越高,温度越低,沉积的P层膜光学带隙越大。 将不同带隙P层应用于微晶硅电池,我们发现P层带隙过大将增加i/p界面处的能带失配,导致较多的缺陷 态,影响内建场的分布同时限制开路电压(k),而P层带隙较小时,将降低电池的内建电势,同样影响n增 加。因而优化P层带隙将有利于提高电池的性能。 关键词P层带隙;i/p界面;微晶硅电池 EffectsoftheBand of onthePerformanceof Gapsp-layers SiliconSolarCells Microcrystalline Liu WenboYao Xie ShiyongZengXiangbo。Peng WenjieXiaobing Chao Wang WangZhanguo ofSemiconductorMaterialsScience,InstituteofSemiconductors, (KeyLaboratory Chinese of 100083,China) AcademySciences,Beijing Abstract theband of Theeffectsof of onthe silicon(№一Si:H) gapsp-layersperformancemicrocrystalline use chemical solarcellshavebeen the enhanced investigated.Weplasma vapor that band increasewith for the solarcells.Theresultsindicatethe ofthe ttc—Si:H gaps p-layers fabricating inves- eitherthe dilutionratios(尺H)orthe substrate have increasinghydrogen decreasingtemperatures.We the withvariousband in_“c—si:Hsolarcells.Theband of willin— tigatedp-layers gaps larger gapsp-layers ducethe
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