智能传感器技术及相关工艺的研究进展.pdfVIP

( ) 　2002 年 第 2 1 卷 第 4 期 　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Transducer Technology 6 1 前沿技术 智能传感器技术及相关工艺的研究进展 李守智 , 田敬民 (西安理工大学 电子工程系 ,陕西 西安 710048) 摘 　要 : 对智能传感器技术作了扼要介绍 ,概述了其技术特征以及传感器智能化的途径 ,介绍了与智能传 感器设计制造的相关技术 。最后评述了传感智能化的发展前景 。 关键词 : 智能传感器 ; 集成工艺 ; 控制系统 中图分类号 : TP2 12 . 6 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2002) 04 - 006 1 - 04 Development of intell igent sensor technology and relational processes L I Shouzhi , T IAN J ingmin ( Dept of Elct Engin , Xi’an University of Technology , Xi’an 710048 , China) Abstract : An introduction to t he intelligent sensor technology and it s characterization is presented ,followed by details of some met hods of intelligent sensor . Basic design approaches ,t he relational t hechnology met hods and de velop ment trend is described . Key words : intelligent sensor ; integrated process ; control system 0 　前 　言 组装成智能传感器 。利用微机械加工制造传感器亦 传感器在检测及 自动控制系统中具有相当于人 是近年发展起来的重要技术 ,硅微机械加工是在硅 的五感( ) 视 、听、触 、嗅、味 的重要作用 。自动化系统 集成电路工艺的基础上发展的一项重要技术 ,主要 的功能越全 ,系统对传感器的依赖程度也越大 。在 用于以硅为基底 、层与层之间有很大差别的三维结 高级控制系统中 ,传感器掌握着系统的命脉并非言 构 ,如膜片 、横梁 、探针凹槽 、孔隙等 ,硅微加工技术 过其实 。当前 , 以固态传感器为代表的传感器技术 主要包括 : 刻蚀技术 ,体形结构与表面腐蚀加工技 的开发正在从两个不同的侧面深入发展 ,一是基础 术 ,薄膜技术 ,固相键合工艺以及 X 射线深层光刻 , 技术的开发 ,另一个是应用技术的开发 。前者是为 ( ) 电铸成型技术 L I GA 等 。 研制新型传感器而进行的功能材料技术的研究 ;后 目前 ,美国 Honeywecl 公司研制的D SJ3000 智 者是将信号检测和信号处理技术相结合 ,实现传感 能压差压力传感器是在 3