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蠕动式X_Y_微动工作台的设计实现.pdf
- - ——
X Y θ
: 1004- 132Ⅹ ( 2001) 03- 0263- 03
- -
X Y θ
吴鹰飞 李 勇 周兆英 刘钦彦
: 提出了一种新颖的X - Y- θ微动工作台。利用单 一压电元件 动
及柔性铰链机构传动获得平面上 3 个自由度的运动,并与电磁夹紧机构配合
实现蠕动式进给,使平面工作台具有高的位移分辨率、大的工作行程和简洁
的结构。 工作台的核心部件柔性铰链传动机构采用对称设计,有利于运动的
导向。通过力学分析,对柔性铰链机构进行了参数选择。 测试了工作台的性
能,柔性铰链机构刚度的实测值同理论值接近。运动速度大于 10 / ,位移
μm s
分辨率小于 0. 1 。
μm
: ;; X - Y- θ
: T H13 : A
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。 X Y θ
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, X Y θ
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,, 1 单驱动X - Y - θ微动工作台的原理
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[1] 。
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X Y
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, θ
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、、 ,X - Y- θ
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, , 。1 1、2 , A、B O
,,, , C 2。 P
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A O X
: 2000— 08— 31 A Y ,B
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