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· 174· 第十一届中国光伏大会暨展览会会议论文集 用于高效太阳电池的链式氧化工艺探索 唐 宁1 席 曦1’2 高 峰1 杨 辉1 季静佳1’3 施正荣1’2’3 (1．无锡尚德太阳能电力有限公司，江苏无锡214028；2．江南大学物联网工程学院， 江苏无锡214122；3．江南大学理学院，江苏无锡214122) 摘要高效晶硅电池(如PESC，PERL等)需要热生长二氧化硅膜作为表面钝化层，用以降低表面的复合 速率。适当降低氧化层的厚度可以提高电池的电流密度，并且大规模生产需要时间相对较短的工艺和较简 易的操作流程。因此，与链式扩散方式相近的链式氧化成了我们可以探索的一个课题。本文讨论了不同氧 化温度、氧化时间以及硅片在炉中的摆放方式等对氧化后少予寿命的影响和对电池表面开压的影响。 关键字太阳电池；链式氧化；少子寿命；开路电压 Researchonin—lineOxidationUsedin SolarCell HighEfficiency XiXil2Gao HuilJi Shi TangNin91 Fen91Yang Jingjial3Zhengron91·2，3 Co．，Ltd．Wuxi 2．SchoolofInternetof (1．Suntech-power Jiangsu，214028I ThingsEngineering，JiangnanUniversity， Wuxi of Jiangsu，214122；3．SchoolScience，JiangnanUniversity，WuxiJiangsu，214122) Abstract solarcells，suchas thermaloxidationforsurface Highefficiency PESCPERL，requirelayer pas- of surfacerecombination oxidationthickness sivation，for purposereducing velocity．Properlyreducing layer canincreasecurrent ashorterfabricationtimeand oxi· density，andprovide simplerprocess．Thus，in·line dationwhichissimilartoin-linediffusionattractsourattention．Inthis discusstheinfluenceof paper，we theoxidation timeandthe methodofthewafersonthe carrierlife- temperature，processplacing minority timeandthe circuit open voltage． solar Keywordscell；in-line carrier circuit oxidation；minoritylifetime；openvoltage 应用的可能。 1 引言