用于水中有机磷农药检测的微热板预富集芯片设计与制备.pdfVIP

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2017-08-29 发布于江西
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用于水中有机磷农药检测的微热板预富集芯片设计与制备.pdf

第8卷第5期纳米技术与精密一I：程 V01．8No．5 andPrecision 2010 2010年9月 NanotechnologyEngineering Sep．用于水中有机磷农药检测的微热板预富集芯片设计与制备高晓光，程浩，贾建，李建平，何秀丽 (中国科学院电子学研究所传感技术I竭家霞点实验室，北京100190) 摘要：有机磷农药(OPP)的大量使用已对环境水体造成污染．针对水中痕量有机磷农药检测的需要，设计并利用 MEMS工艺制备了自带解吸加热器的微热板预富集芯片．为提高温度均匀性，芯片工作区背面留有硅膜；以马拉硫磷为例研究了预富集芯片工作区的温度均匀性及吸附膜厚度等对富集效果的影响．结果表明，提高预富集芯片解吸时工作区温度的均匀性有助于获得高的被测物浓度脉冲，从而改善离子迁移率谱仪(IMS)检测效果；在室温5 min搅拌采样的情况下，聚二甲基硅氧烷(PDMS)吸附膜厚度为30p,m的芯片富集效果优于PDMS膜厚度为65恤m 和100“m的芯片．关键词：离子迁移率谱仪(IMS)；预富集芯片；MEMS；有机磷农药检测中图分类号：TH83 文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2010)05-0465-05 andFabricationofMicro Preconcentratorfor Design Hotplate of in Detection PesticideWater organophosphate GAO Hao，JIAJian，LI Xiu-li Xiao—guang，CHENG Jian—ping，HE of of of Transducer Electronics，Chinese (StateKeyLaboratory Technology，Institute AcademySciences，Beijing100190，China) USeof ledto ofenvironmental Abstract：Wide pesticides(OPPs)has water， organophosphate pollution andamicro with heaterwas andfabricatedwithMEMStech— hotplatepreconcentratordesorption designed in film area forthe detectionoftraceOPPswater．ASi underneaththe of nique rapid working preconcen— reservedto the effectsof U· tratorWas improvetemperatur