防静电管理规范.docxVIP

《防静电管理标准》

1.目的

为了标准生产过程中的ESD控制要求，作为各部门实施和维护ESD的依据，特制定本程序。

2.范围

适用于本公司静电敏感器件(材料、半成品及成品)的生产组装、检验测试、处置存储及包装运输等各环节。

3.定义

3.1ESD：英文electrostaticdischarge〔静电放电〕缩写。静电是指暂时停留在物体某处的电荷。当具有不同静电电位的物体，由于直接接触或静电感应引起的物体间静电电荷的转移叫静电放电。

3.2静电接地：将带静电物体或有可能产生静电的物体〔非绝缘体〕通过导体与大地构成电气回路的接地叫做静电接地。

3.3直接静电接地：通过金属导体构成的静电接地系统。

3.4间接静电接地：通过含有非金属导体、防静电材料或其制品使物体静电接地的系统。

3.5外表电阻：它代表每平方面积电介质外表对正方形的相对二边间外表泄漏电流所产生的电阻。单位是欧姆。外表电阻的大小除决定于电介质的结构和组成外，还与电压、温度、材料的外表状况、处理条件和环境湿度有关。环境湿度对电介质外表电阻的影响极大。外表电阻愈大，绝缘性能愈好。

3.6接地电阻：从一条导电路径上任意点到接地电极之间的电阻总和。

3.7对地电阻：放置在被测试物体外表上的一个电极和地之间测量所得的欧姆电阻值。

3.8导静电材料：外表电阻小于1*10的4次方欧姆的材料。

3.9静电耗散材料：外表电阻≥1*10的4次方欧姆且＜1*10的11次方欧姆的材料。

3.10EPA：静电防护区，材料和设备的静电电压受到控制的工作环境。为保障静电敏感器件〔SSD〕免受静电伤害而采用必要的防静电材料和设备建立和装备起来的区域，通常有明显的防静电警示标志。进入防静电工作区域的人员，必须严格遵循防静电作业标准。又名静电放电控制区ECA〔ESDcontrolledarea〕。

3.11EBP:接地连接点。

3.12ESDS：英文electrostaticdischargesensitivity〔静电放电敏感度〕缩写,导致元器件失效的静电放电等级。

4.权责

4.1工程部：负责所有EPA区域和外部地线系统的规划、实施、维护，主导对ESD相关问题的分析改良，对ESD治工具的验收，及ESD相关培训工作。

4.2研发部：负责产品防静电要求的设计与防静电标准的提供，负责防静电包装、储存及运输的设计。

4.3生产部：按ESD相关标准操作，按工程部的组织下安排人员配合防静电措施的安装。

4.4品质部：对ESD材料的验收工作，EPA区域内定期及不定期的静电防护过程监控检测、预警、强制执行。

4.5体系办：对本程序的实施进行监督管理。

4.6供给链：负责按ESD的相关要求确保ESD敏感材料在包装，运输、拆分过程中ESD防护有效

5.内容

5.1个人平安：

5.1.1使用接地断路器及其它平安措施，预防人员触电；

5.1.2公司范围内应进行不定期的电气平安演习；

5.1.3遵循设备、机台正确接地，并按照标准定期对设备、机台接地情况进行巡查。

5.2防静电工作区技术要求：

5.2.1环境条件：温度、湿度管控按照《无尘车间管理标准》执行。

5.2.2标识要求：

5.2.2.1EPA专用标记：在EPA车间及工作场所各入口处明显位置悬挂如图1示的EPA标识牌，标识牌采用黄底黑色。

5.2.2.2接地线颜色定义：绿色接地线为人体接地时使用，一般位于工作台下。黄色接地线为机台、电源接地时使用。两种接地线为专用，不能错用、混用。

5.2.2.3防静电接地电极标记：防静电接地电极处须张贴标识〔如：图2〕，标识符号的尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼能够清楚识别，标记颜色采用黄底黑色。

5.2.2.4接地点标识：EPA内设置的公共接地点须进行接地连接点符号标记〔如：图3〕，标识符号的尺寸大小应在普通照明条件下用肉眼能够清楚识别，标记颜色采用黄底黑色。

5.2.2.5离子风扇、工作台、流水线、周转盘、货架、运输车、工作椅等设施经测试合格后，应张贴相应标识〔按如以下图示中10.0的要求〕，标识应置于明显不易受到磨损的地方，没有张贴标识的，视为未经过防静电认证，不允许使用。

5.2.2.6静电防护器材应张贴如图4标识，用于与非防静电器材进行区分。

5.2.3接地要求：

5.2.3.1EPA内所有的金属导体、仪器设备、防静电装备、人员必须进行接地。

5.2.3.2防静电接地线不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，人体防静电接地应采用独立接地线；人体防静电接地线不能直接与机器外壳相连，假设使用机器外壳固定的，必须保证人体接地线与机器外壳绝缘。

5.2.3.3在使用防静电装备用品涉及到操作人员平安时，