GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

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  • 2023-11-11 发布于四川
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  •   |  2021-08-20 颁布
  •   |  2022-03-01 实施

GB/T 25915.8-2021洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级.pdf

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ICS 13.040.35 CCS C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013 代替 GB/T 25915.8—2010 洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度 (ACC) 等级 Cleanrooms and associated controlled environments— Part 8:Classification of air cleanliness by chemical concentration(ACC) (ISO 14644-8:2013,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01 实施 国家市场监督管理总局 发 布 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 GB/ T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013 目 次 前言 I 引言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 分级 3 5 合格性的证明 5 附录A (资料性) 影响ACC 的因素 6 附录 B (资料性) 常见污染物 9 附录C (资料性) 常用测量方法 12 附录 D (资料性) 隔离装置的特殊要求 15 参考文献 16 I GB/T 25915.8—2021/ISO 14644-8:2013 前 言 本文件按照GB/T1.1—2020《 标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 本文件是GB/T25915《 洁净室及相关受控环境》的第8部分。GB/T 25915已经发布了以下部分: ——第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级; ——第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测; ——第3部分:检测方法; ——第4部分:设计、建造、启动; ——第5部分:运行; ——第6 部分:词汇; 第7部分;隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); ——第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC) 等级; ——第9 部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级; ——第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级; ——第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。 本文件代替 GB/T 25915.8—2010《洁净室及相关受控环境 第8部分:空气分子污染分级》,与 GB/T 25915.8—2010相比,主要技术变化如下: a) 增加了“按化学物浓度划分空气洁净度”“按化学物浓度划分表面洁净度”和“按化学物浓度划 分空气洁净度(ACC) 等级”的术语和定义(见3.1.2、3.1.4、3.1.8); b) 修改了术语“分子污染”为“化学污染物”、“空气分子污染”为“空气化学污染”和“表面分子污 染”为“表面化学污染物”(见3.1.1、3.1.3、3.1.5,2010年版的3.1.1、3.1.2、3.1.3); c) 修改了描述符的形式“ISO-AMC” 为 “ISO-ACC” (见4.1、4.2、5.1、5.3,2010年版的4.1、4.2、 5.1、5.3); d) 增加了空白流转样本(见5.2); e) 增加了影响ACC 的因素(见A.3.4、A.4.3、A.5.4、A.6、A.7、A.8、A.9); f) 增加了化学污染物氯、三甲胺等,删除了乙醇胺、三氯乙基磷酸酯等(见表 B.1,2010 年版的 表 B.1); g) 增加了隔离装置关于检测方面的考虑(见 D.2.5~D.2.7)。 本文件等同采用ISO14644-8:2013《洁净室及相关受控环境 第8部分:按化学物浓度划分空气洁 净度(ACC) 等级》。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口。 本文件起草单位:中国电子工程设计院有限公司、苏州市计量测试院、苏州安泰空气技术有限公司、 江苏嘉合建设有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、烟台宝源净化有限公司、爱美克 空气过滤器(苏州)有限公司、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环境科技股份有限公司、贺氏(苏 州)特殊材料有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥明智能动力股份有限公司、中国计量科学 研究院、中电投工程研究检测评定中心有限公司、深圳新科特种装饰工程有限公司。 本文件主要起草人:王尧、娄宇、张秀春、王大千、李启东、朱兰、金真、孙玉澄、王小兵、叶伟强、 耿新颜、翟传明、汪洪军、吴小泉、高正、石小雷、杨云涛、张敏、徐小浩、袁月、刘璐、殷晓冬。

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