GB/T 25915.2-2021洁净室及相关受控环境　第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测.pdf

ICS 13.040.35 CCS C 70 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 GB/T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015 代替 GB/T 25915.2—2010 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测 Cleanrooms and associated controlled environments—Part 2:Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015,IDT) 2021-08-20发布 2022-03-01 实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会 发 布 I GB/ T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015 目 次 前言 Ⅲ 引言 V 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 监测计划的制定、执行及持续改进 2 5 按粒子浓度定期划分空气洁净度 3 附录A (资料性) 制定监测计划考虑事项 4 附 录B (资料性) 设定预警值和干预值的考虑事项 7 参考文献 11 Ⅲ GB/T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015 前 言 本文件按照 GB/T 1.1—2020《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 本文件是GB/T25915《 洁净室及相关受控环境》的第2部分。GB/T 25915已经发布了以下部分： ——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级； ——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测； ——第3部分：检测方法； ——第4部分：设计、建造、启动； ——第5部分：运行； ——第6部分：词汇； ——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境); ——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC) 等级； ——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级； ——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级； ——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。 本文件代替 GB/T 25915.2—2010《洁净室及相关受控环境 第 2 部分：证明持续符合 GB/T 25915.1的检测与监测技术条件》,与 GB/T 25915.2—2010 相比，主要技术变化如下： a) 修改了范围(见第1章，2010年版的第1章); b) 术语和定义中只保留了原来的检测、监测2个术语，删除了其他6个(见2010年版的第3章), 增加了干预值、预警值2个术语(见3.3、3.4); c) 将“持续达到要求的证明”修改为“监测计划的制定、执行及持续改进”(见第4章，2010年版的 第4章); d) 增加了“按粒子浓度定期划分空气洁净度”(见第5章)。 本文件等同采用ISO14644-2:2015《洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监 测》。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)提出并归口。 本文件起草单位：中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏嘉合建设有限公司、天津泰达洁净材 料有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、中国电子工程设计院有限公 司、陕西中电精泰电子工程有限公司、派欧尼尔环境净化工程(北京)有限公司、北检润和(北京)技术服 务有限公司、天俱时工程科技集团有限公司、苏州苏净仪器自控设备有限公司、天津大学、中国标准化协 会、中国建筑科学研究院有限公司、上海市室内环境净化行业协会、广东省洁净技术行业协会、苏州华泰 空气过滤器有限公司、深圳市朗奥洁净科技股份有限公司、上海市食品药品包装材料测试所、广东省实 验动物监测所、上海中增科教设备有限公司、深圳市君信达环境科技股份有限公司、上海誉净环保科技 有限公司、广州市微生物研究所有限公司、灵汇机电工程(杭州)有限公司、广西华原过滤系统股份有限 公司、佛山市顺德区阿波罗环保器材有限公司、广东富瑞希空气净化过滤制品有限公司。 本文件主要起草人：施红平、王大千、刘俊杰、冯昕、龙军、王苑、谢敬伟、车玉伶、夏薇佳、吴志坚、 吴巍、王芳、张仲杰、王辉、耿文韬、王蓉、周占磊、童广才、邱济夫、黄韧、魏佳鸣、姚增玉、廖志铭、詹炼、 GB/T 25915.2—2021/ISO 14644-2:2015 王华、张玉华、明飞平、程北川、于天、朱吉兴