一种浸泡式去胶剥离机.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.99千字
约 11页
2023-04-28 发布于四川
举报
版权申诉

一种浸泡式去胶剥离机.pdf

1、本文档共11页，其中可免费阅读10页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种浸泡式去胶剥离机，包括机架，机架上设置有浸泡腔体，浸泡腔体上设置有操作窗口，机架上位于浸泡腔体的外部设置有底座，底座上竖直升降安装有升降座，该升降座由升降动力装置驱动，升降座上设置有安装座，该安装座设置有处于浸泡腔体上方的安装板，安装板上安装有用于悬挂并且调节花篮角度的悬挂调节装置，悬挂调节装置的下端伸入到浸泡腔体内，并悬挂花篮，浸泡腔体上设置有进液管，浸泡腔体内设置有用于加热化学液的加热装置，该去胶剥离机不但能驱动花篮的升降，而且能驱动花篮倾斜，这样使晶圆处于倾斜状态浸没在化学

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114200795 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111487556.4 (22)申请日 2021.12.08 (71)申请人江苏晋誉达半导体股份有限公司