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安全电压 安全电压，是指不致使人直接致死或致残的电压。常说的安全电压，是指36伏以下的电压。因为人触电时，电流是造成伤害的直接因素，电流越大，伤害越严重。 经验证明，通过人体的电流超过50毫安时，触电伤害会危及人的生命，并且触电人不容易自己脱离电源。 人体的电阻一般在800欧姆到10000欧姆之间。按800欧姆计算人体的电阻，通过50毫安的电流，要在人体上加40伏的电压。因此，在一般情况下规定36伏以下的电压为安全电压。 但应该注意的是，人体的电阻在某些情况下会急剧下降。如工作场所非常潮湿或有腐蚀性气体；人流汗或被导电溶液溅湿；有导电灰尘等。这时36伏也并不是安全电压，而规定加在人体的电压不超过12伏，所以12伏电压称为绝对安全电压。 第二十三页，共三十五页。 硅片清洗 氧化 离子注入 光刻 刻蚀去胶 扩散 CVD CMP抛光，溅射减薄 酸废气、氟废水 尾气 有机废液 有机废水、尾气 酸废气、氟废水、尾气 尾气、氟废水 碱废水，氨废水 HF、NH4 O H 、HCl、有机溶剂、纯水 O2 、N2 、H2 、C2H2Cl2 BF3 、PH3 、AsH3 光刻胶、EBR、HMDS、显影液 湿法：BHF 、HF H3PO4、 H2SO4、H2O2、 干法：CF4、CHF3、SF6 、N2 Cl2、HBr、 Ar、C2F6、O2、BCl3、NH3 、H2O、丙酮、 HCl、HNO3、CO2 B2H6、PH3、AsH3等 O2、SiH4 、N2、WF6、TMB、TMP、 TEOS、C2F6、HF SLURRY、NH4OH 生产工艺流程 第二十四页，共三十五页。 厦 门 集 顺 半 导 体 有 限 公 司 化学试剂安全使用方法 1、工作中涉及到化学品、有毒有害物品的都应穿戴好防护用品。防护用品穿戴 前一定要仔细检查，合格后方可穿戴。 2、大瓶化学试剂，不能用手直接抱，以免化学试剂容器翻掉打碎。 3、大瓶浓酸必须放在专用的柜子内。用过化学试剂的瓶子，应立即将盖子盖紧。4、放酸的柜子内，严禁放有机试剂及其它易燃易爆、相互抵触的化学试剂。 5、易燃有机试剂不得与热源放在一起，或存放在同房间内，应保存在封闭的专 用金属箱内。 第二十五页，共三十五页。 安全教育 安全教育 第一页，共三十五页。 目的 增强安全知识 提高安全意识 防止意外发生 第二页，共三十五页。 应急逃生 工厂内会在墙壁底部,贴装有紧急出口指示牌，或在通道上方悬挂紧急出口指示牌，当发生紧急状况的时候，应按照指示牌，寻找最近的出口逃生。（紧急出口指示牌一般是荧光的，或自带点亮电源的，防止突然停电后，在无照明的情况下，可以引导人员撤离）现场发生紧急状况需要撤离时,应以最快速度通过最近的安全出口,不必跑回二次更衣室更换衣服.撤离出净化室后,到公司安全应急演练时集中的安全地带集合,清点人员,以确定是否还有同事滞留在净化室内. 第三页，共三十五页。 EMO EMERGENCY OFF 非常停止开关 现场设备上面有很多类似于右侧照片中的开关按钮，该开关在突发状况时（如设备线路老化冒烟、起火，设备水管大量漏水、设备传片异常即将造成碎片等）按下，可导致整个机台断电、所有气动阀关闭，给设备和人员以最快速度的安全保护。 第四页，共三十五页。 洗眼器 眼睛进入化学品，应立即进行冲洗，特别是碱性药品比酸性药品还要可怕，所以，必须争分夺秒！洗脸要用大量的水，冲洗15分钟左右，洗眼睛时，要用手撑开眼皮冲洗。绝对不能使用中和剂，同时注意水压不要过高。 第五页，共三十五页。 冲淋器 冲淋器 复合式冲淋器 第六页，共三十五页。 灭火器 二氧化碳灭火器主要用于扑救贵重设备、档案资料、仪器仪表、600伏以下电气设备及油类的初起火灾。在使用时，应首先将灭火器提到起火地点，放下灭火器，拔出保险销，一只手握住喇叭筒根部的手柄，另一只手紧握启闭阀的压把。对没有喷射软管的二氧化碳灭火器，应把喇叭筒往上扳70—90度。使用时，不能直接用手抓住喇叭筒外壁或金属连接管，防止手被冻伤。在使用二氧化碳灭火器时，在室外使用的，应选择上风方向喷射；在室内窄小空间使用的，灭火后操作者应迅速离开，以防窒息。 第七页，共三十五页。 灭火器使用方法 1、手提式1211灭火器使用方法： 使用手提式1211灭火器时，应首先拔出安全销，一手紧握压把，压杆即能 将封闭阀打开，1211灭火剂就能通过弘吸管，由喷嘴喷出。松开压把，喷 嘴封闭，停止喷射。使用时应注意保持直立位置，不可水平或颠倒使用， 还应注意将药剂喷向火焰根部，由近及远，快速向前推进；要防止回火复 燃，零星小火则可采用点射。如遇可燃液体在容器内燃烧时，可使1211灭 火剂的射流由上而