面向医疗微系统应用的基于引线键合仪的碳纳米管转移集成工艺方法.docx

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1 引言 碳纳米管材料在微型X射线源[1,4]、平板显示器[5,7]、柔性电子器件[8,10]等微系统领域展现出巨大的应用潜力.然而碳纳米管的生长环境通常涉及高温过程及种子层制备[3,11],限制了可选择的基底材料,因此将其从生长基底转移至其他目标器件基底的异质集成工艺成为拓展其应用领域的关键技术[8]. 为实现碳纳米管材料的规模化转移集成,研究人员提出了丝网印刷(screen printing)[5,9,12]、直写打印(direct ink writing)[10,13]、转移印刷(transfer printing)[8,14]等主要技术路线.丝网印刷和直写打印方法均使用将碳纳米管粉末和

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