MEMS器介绍.ppt

微型光学元件 THANK YOU SUCCESS * * 可编辑 可编辑 可编辑 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 MEMS典型器件介绍 主要内容： MEMS概述 MEMS典型器件 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 ----- Micro-electro-mechanical-system微电子机械系统 ------ 把信息传感、处理，机械执行机构以及其他一些微器件，按照集成电路的制造原则，以高密度，低成本的方式集成在一个微系统中。 什么是MEMS? MEMS的主要特点 MEMS器件的优点是体积小、重量轻、性能稳定，通过IC等工艺可批量生产，成本低，性能一致性好，功耗低，谐振频率高，响应时间短，综合集成度高，附加值高，具有多种能量转化、传输等功能，包括力、热、声、磁及化学、生物能等。 微机电学作为一门新兴的交叉学科，涉及到许多科学技术领域，包括机械学、电工学、电子学、化学、计算机科学、材料学、通讯、控制等方面。研究人员需要对这些学科领域有广泛的、深入的了解，微机电系统才有可能逐步走向应用。 MEMS工艺的可重复性 MEMS产品性能的稳定性和可靠性 MEMS产品的成品率 MEMS产品的封装和测试 MEMS器件与电路集成形成微系统 MEMS发展面临的机遇和挑战 惯性MEMS器件 RF MEMS器件 NEMS器件和新型材料MEMS器件 MEMS器件的发展 惯性MEMS器件在汽车业中的应用（包括微陀螺、加速度计、压力传感器） 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 MEMS分类 Optical MEMS Bio-MEMS Sensors Actuators Nano-Tools Micro-Fluidics 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 微型传感器 加速度传感器 Accelerometer Sense fingers Anchor Proof mass Springs Self-test actuators Curl matching frame proof mass y x z Tri-axis microstage Thin-film z-axis accelerometer DRIE z-axis accelerometer THANK YOU SUCCESS * * 可编辑 微陀螺仪 J. Micromech. Microeng. 18 (2008) 115014 N-C Tsai and C-Y Sue 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 微型执行器 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 微型电磁马达 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 Electrostatic Motors 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 研究生系列课程-半导体微纳加工技术 Hydraulic actuators 微镊子 微型光学元件 可编辑 可编辑