可制造性设计(DFM)的关键图形匹配方法的分析和实践-电子与通信工程专业毕业论文.docxVIP

难 难 以解 决 的 二 维 图 形 定 义 和 查 找 问题 ，甚 至 解 决 了 多 层 复 杂 二 维 图 形 定 义 和 查 找 问题 ，更 加 提 高 了 查 找 方 法 的速 度 。 对 于 每 一 种 查 找 算 法 ， 都 需 要 建 立 相 应 的 图 形 描 述 语 言 。针 对 完 整 多 边 形 查 找 的 方 法 ， 本 论 文 采 用 角 度 片 段 序 列 的 图 形 描 述 语 言 ; 而 对 于 残 缺 多 边 形 查 找 算 法 ，本 论 文 提 出 了 一 种 新 的 数 据 结 构 来 描 述 图 形 ，称 为 边 结 构 ， 建 立 以后 可 以反 复 利 用 、 也 可 以 相 互 合 并 和 相 互 拆 分 ， 甚 至 可 以做 到 部 分 片 断 匹 配 ， 它 将 边 在 数 学 表 达 式 中 的 表 述 方 法 和 计 算 机 技 术 结 合 在 一 起 ，在 数 据 查 找 和 匹 配 的效 率 和 准 确 性 上 都 有 很 大 的提 高 。对 于 这 些 图形 描 述 语 言 和 数 据 结 构 ，本 论 文 也 进 行 了 具 体 的 介 绍 和 优 缺 点 分 析 ， 以及 它 们 在 应 用 的 不 同 之 处 。 本 论 文 首 先 通 过 对 良率 损 失 的 分 析 ，掌 握 由 图形 造 成 良率 损 失 的 主 要 因 素 ， 从 而 得 到 量 产 良率 诊 断 的 关 键 图 形 的 相 关 数 据 ，再 通 过 计 算 机 软 件 编 程 的 方 法 对 关 键 图 形 进 行 参 数 和 图 形 提 取 ， 从 而 实 现 能 够 让 芯 片 设 计 者 在 芯 片 设 计 重 复 的 早 期 就 发 现 和 避 免 这 些 关 键 图 形 ，进 而 提 高 芯 片 良率 。 同 样 通 过 参 数 设 置 和 图 形 匹 配 ， 本 项 研 究 可 以按 照 版 图扫 描 设 备 的 需 求 ， 对 一 些 低 敏 感 图 形 进 行 辨 别 ，从 而 对 此 类 图 形 采 取 跳 过 或 放 宽 扫 描 参 数 的 设 置 ， 避 免 假 缺 陷 图 形 的 引入 对 于 良率 分 析 工 作 量 的 增 加 ， 提 高 设 备 利 用 率 。 本 论 文 研 究 中 开 发 的 软 件 可 以 与 晶 片 检 测 设 备 绑 定 ，对 检 测 图形 进 行 在 线 分 析 ， 大 大 提 高 了 设 备 的 利 用 率 。经 过 二 次 开 发 和 集 成 调 试 ， 这 些 算 法 已经 集 成 到 某 电子 设 计 自动 化 ( E le e tr on ic D e s ign A u tom a t iC ， 简 称 E DA ) 软 件 和 相 应 设 备 中 ，成 为 该 电子 设 计 自动 化 软 件 和 相 应 设 备 中 的 核 心 部 分 。它 的运 行 速 度 也 十 分 的 高 ， 达 到 预 期 的 效 果 。 关 键 字 : 良率 ; 量 产 良率 诊 断 ; 关 键 图 形 ; 图 形 匹 配 中 图分 类 号 : T N4 A b A b 5 t r a e t S in e e f i s t In t e g r a t e d C ir e u it (IC ) g e n er a t e d in 19 5 8 ，t h e IC h a s b e e n d e v e l o P i n g a t v e r y h i g h s P e e d : t h e e o m P l e x i t y f o r m i n i m u m e o m P o n e n t e o s t h a s i n e r e a s e d a t a r a t e o f r o u g h l y a f a e t o r o f t w o P e r y e a r . A e e o r d i n g t o h i s t o r y o f I C ， t h e C h a r a e t e r i s t i e s i z e h a s d e e r e a s e d 3 0 % i n e a e h g e n e r a t i o n . A s s e m i e o n d u e t o r i n d u s t r y m a r e h i n g t h r o u g h 0 . 1 3 u m ， 9 0