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目录 目 录 第一章 绪论 1 1.1 引言 1 1.2 薄膜晶体管的应用 2 1.2.1 TFT 在LCD 中的应用 3 1.2.2 TFT 在OLED 中的应用 3 1.3 不同材料TFT 的性能比较 4 1.3.1 非晶硅薄膜晶体管 5 1.3.2 多晶硅薄膜晶体管 5 1.3.3 有机薄膜晶体管 6 1.3.4 氧化物薄膜晶体管 6 1.4 几种n 型氧化物薄膜晶体管的研究现状介绍 6 1.4.1 ZnO-TFT 技术 7 1.4.2 IGZO-TFT 技术 7 1.5 Cu O-TFT 的研究现状 8 2 1.6 Cu O 材料的基本性质 9 2 1.7 Cu O-TFT 的研究意义 10 2 1.8 论文的主要内容和章节安排 10 第二章 薄膜的制备及性能表征 12 2.1 Al 膜制备 12 2.1.1 电子束蒸发法 12 2.1.2 Al 膜制备步骤 14 2.2 Cu O 薄膜的制备 14 2 2.2.1 磁控溅射法 14 2.2.2 溅射薄膜生长理论 17 2.2.3 实验方法 18 2.2.3.1 衬底准备 19 2.2.3.2 溅射镀膜工艺流程 19 2.3 Cu O 薄膜性能表征 20 2 2.3.1 薄膜厚度测试 20 2.3.2 氧气和氩气之比对Cu O 薄膜结构的影响 21 2 IV 目录 2.3.2 衬底温度对Cu O 薄膜晶体结构的影响 23 2 2.3.3 衬底温度对于Cu O 薄膜光学性能的影响 24 2 2.3.4 不同厚度Cu O 薄膜对光学性能影响 26 2 2.3.5 磁控溅射Cu O 薄膜的的表面形貌 27 2 2.4 小结 28 第三章 室温下Cu O-TFT 的制备及性能研究 29 2 3.1 TFT 结构 29 3.1.1 底栅极结构 29 3.1.2 顶栅极结构 30 3.1.3 底接触结构 30 3.1.4 顶接触结构 30 3.2 TFT 的基本工作原理 30 3.2.1 线性区 31 3.2.
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