特气侦测器更换探头操作规程.docVIP

天威新能源控股有限公司 标准编号 TN.L DL.52-2009 版 次 A 特气侦测器更换探头操作规程 实施日期 2009年06月10日 1 范围 本文件规定了特气侦测器更换探头操作规程。 本文件适用于Honeywell特气侦测器，且经过培训的有经验的特气管理操作人员。 2 操作规程 2.1 更换前记录 侦测器 侦测器序列号 旧探头序列号及校准日期 报警设定值 一级报警 二级报警 SiH4左钢瓶侦测器 SiH4右钢瓶侦测器 SiH4气柜侦测器 SiH4气体房环境侦测器 SiH4 VMB 侦测器 SiH4 PECVD 1 SiH4 PECVD 2 SiH4 PECVD 3 NH3左钢瓶侦测器 NH3右钢瓶侦测器 NH3气柜侦测器 NH3气体房环境侦测器 NH3 VMB 侦测器 NH3 PECVD 1 NH3 PECVD 2 NH3 PECVD 3 2.2 已经完全关闭后点击[Start]。 2.3 系统自动开始一次吹扫，负压保压，二次吹扫。 编制： 校对： 审核： 批准： 发送部门 份 数 2.4 当屏幕显示Purge gas is bleeding now”,再次确认钢瓶已完全关闭。 2.5 在两小时内更换钢瓶，否则重新吹扫。 2.6 按下加热控制箱的三个红色按钮（Close）。从钢瓶上拆下两个加热毯。穿戴好合适的 PPE。 2.7 使用合适的扳手缓慢松开 CGA 螺帽，同时用手持式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即 拧紧 CGA 螺帽，并通知现场主管。 2.8 从瓶口上完全卸下 Pigtail，立即拧紧钢瓶阀出口螺帽，然后堵上 Pigtail 接口。移走空钢瓶并安 装钢瓶帽，贴上“空瓶”标签。记录空钢瓶号 。 2.9 检查此时气柜控制器上钢瓶重量的读数,根据需要调整称的零点。 2.10 再次确认钢瓶重量与钢瓶标签标识的重量一致。若不一致，报告现场主管。 2.11 新钢瓶就位，保证钢瓶口的位置与 Pigtail 钢瓶接口的距离在可安装范围内。 2.12 缓慢松开钢瓶阀出口螺帽，并用手持式侦测器检查瓶口是否泄漏。若侦测器报警，立即拧紧螺帽， 并通知现场主管。 2.13 检查新钢瓶阀出口是否脏污和损坏，必要时须用洁净布擦拭干净。若擦不干净，报告主管。 2.14 更换新的垫片，先用手拧紧 Pigtail 螺帽后，查看 HPT 能否保持在 60psig 以上。 2.15 确认扭力扳手扭矩。 2.16 用合适的扳手将 CGA 螺栓和螺帽旋紧。 2.17 检查确认加热毯没有缺陷。根据加热毯安装要求，将两个加热毯安装到钢瓶上，并确认加热毯紧贴 钢瓶表面。 2.18 输入钢瓶净重。 2.19 点击[Start]，观察系统进入后吹扫状态。 2.20 状态显示PURGE GOOD”,根据提示“Push the Start after close the Regulator”关闭调压阀 点击[Start] 2.21 根据提示ush the Start after open the Cylinder Valve”打开钢瓶后点击[Start] 2.22 徐徐的顺时针调节调压阀，使 LPT 压力显示在 40Psig 至 45Psig 之间。 2.23 根据提示，use the Start after open MIV” 打开手动隔离阀 MIV 后点击[Start],完成工艺气 体输送。 2.24 按下加热控制箱的三个绿灯按钮（Open）。 2.25 记录气体输送压力和气体重量wt Kg HPT psi LPT psi 2.26 将空钢瓶退运至客户仓库。 2.27 再次检查 BSGS 系统运行状态。 2.28 收拾现场,通知相关人员钢瓶更换完成。 2.29 数据更新，文件存档。注：需穿戴的ＰＰＥ：安全帽、安全鞋、防火服、防火手套、护目镜、防护面罩。