平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究 study on property of planar spiral structure microinductor with magnetic core.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究 study on property of planar spiral structure microinductor with magnetic core.pdf

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平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究 study on property of planar spiral structure microinductor with magnetic core

第28卷第2期电子元件与材料、，01．28NO．2 2009年2月 ELECTRONICCO～Ⅱ，ONENTSANDMATERIALS Feb．2009 平面磁芯螺旋结构微电感的性能研究冯书谊，周勇，周志敏，向毅 (上海交通大学微纳科学技术研究院，微米／纳米加工技术国家级重点实验室，薄膜与微细技术教育部重点实验室，上海200240) 摘要：采用MEMS技术(包括光刻．电镀、反应离子刻蚀和机械抛光等)研制了平面磁芯螺旋结构微电感，磁芯材料为铁基纳米晶带材．其中线圈匝数为18匝，线圈导体的宽度和间隙均为30岬，厚度为209m；电感的尺 MHz 下，电感量和品质因数分别为3．2uH和2．3，可应用于微型化DC／DC变换器．关键词：平面磁芯螺旋结构微电感；MEMS技术；电感量；品质因数中图分类号：TM55 文献标识码：A 文章编号：1001．2028(2009)02．0048．03 On ot stru microinductorintlU Studypropertyproperty“planarplanarspiralpl‘ra’structure ，一一 - 一一 core magnetic FENG Yi Shuyi，ZHOUYong，ZHOUZhimin，XIANG LabofMicro／NanoFabrication LabforThinFilmandMicroFabricationof of (National Ministry Key Technology,Key ofMicro／Nano Education，Institute 200240。China) ScienceTechnology，ShanghaiJiaotongUniversity．Shanghai Abstract：A structuremicroinductorwithFc—based ribbonas corewas planarspiral nano-crystallinemagnetic fabricatedMEMS andmechanicaletc．Thedimension by technology．includingphotoetching，electroplating．RIEpolishing ofmicroinductoris3mmx3mmwith18coil widthand incoilthickness．Theresultsshow turns，30岬inspace。20肛m thattheinductorhas agoodpropertyin Theinductanceis factorof2．3atl it is