激光划切机中工件对准的图像定位方法 workpiece leveling method based on image ororientation in laser incision machine.pdfVIP

．IC制造设备与工艺． 幽团虑恿础黧熙耐 ：里￡剑堕塑鱼量三堇： 脚ip腓墅塑墅唑塑堂塑避!鲍-趟 激光划切机中工件对准的 图像定位方法 潘乐，张云，靳卫国，高航 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京东燕郊101601) 摘要：针对激光划切机中对LTCC工件定位对准的高精度性要求．对于如何根据工件边角信 息进行定位，提出了一种基于对比度增强、Canny双阈值边缘提取和Hough变换的定位方法。将 这种图像检测方法应用于激光划切机，工件定位精度小于2“m，满足系统的要求。 关键词：定位；边缘提取；Hougll变换；激光划切机 中图分类号：TN305 文献标识码：A Methodbasedon Ororientation WorkpieceLeveling Image ● T T ●● lI ’‘ lnLaserlnClSlon上UaChine PAN Le，ZHANGYun，JINWeiguo，GAO Hang 45thResearch1．nstiute (The ofCETC，Biejing，101601，P．R．China) Abstract：Anororientationmethodbasedoncontrast double—thresholdof image increasing，Canny are inthis and transformation canmeetthe ofthe edgeabstractingHough presentedpaper．It request ofLTCC inlaserincisionmachine．andthe ororientation highprecision workpieceleveling workpiece islessthan precision 2斗m． incisionmachine transformation；Laser Keywords：Ororientation；Edgeabstracting；Hough 微组装技术高精度、高效率、高可靠性的发展 矩形、圆形、弧形和异形孔的打孑L、切割和镂空。 趋势促进了高密度多层基板制造设备的研制需求。 该设备中基于图像检测的工件定位对准，是进 基板层间互连通孔直径已出现小于100“m，孔间行高精度加工的必要前提。 密度也越来越高，机械冲孔和钻孔、铣削方式逐渐 不能适应工艺需求，激光钻孔机应运而生。激光划 1 图像检测分析 切机项目研制的是一种紫外激光打孔机，应用主要 针对低温共烧陶瓷(LTCC)工艺中的生瓷片，进行 激光划切机中基于图像检测的定位对准结果将 收稿日期：2008．12．28 作者简介：潘乐(1982．)，女。安徽安庆人，现从事半导体设备软件开发及图像处理方面的工作。 万方数据