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基于倾斜AlN 薄膜的体声波质量传感器的制备及性能 - 传感技术学报.PDF
第 22 卷 第 8 期 传 感 技 术 学 报 Vol . 22 N o . 8
2009 年 8 月 CHIN ES E J OU RNAL OF S EN SORS AND AC TUA TORS Au g . 2009
Fabrication and Characteristic Analysis of Bul k Wave Mass Sensor
Based on Incl ined Al N Fil m
X I ON G J u an , GU H aos h uang , W U Wen , D U Pengf ei , H U M i ng z he
D ep art ment of P hy s ics an d E lect ronic Technology , H ubei Uni vers ity , Wuhan 430062 , Chi na
Abstract :Caxi s inclined AlN film s were p rep ared by changing t he sp ut t ering p re ssure an d t he mechani sm
of t he caxi s inclined AlN film s wa s di scu ssed . The TiMo alt er native six layer s were app lied a s Bragg re
flector in t hin film bulk acou stic wave re sonator . The shear mo de liquid sen sor ba sed on caxi s inclined AlN
film wa s imp lement ed adop ting M EM S p roce ss an d t he charact eri stic of t he device wa s t e st ed . The sen sor
show s re so nance f requency of 078 GHz an d goo d app lication p ro sp ect .
Key words :ma ss sen sor ;inclined AlN film ;magnetic sp ut t ering ; shear mo de
EEACC :2575F
基于倾斜 AlN 薄膜的体声波质量传感器的
制备及性能分析
熊 娟 ,顾豪爽 ,吴 雯 ,杜鹏飞 ,胡明哲
湖北大学物理学与电子技术学院 ,武汉 430062
摘 要 :提出通过改变溅射气压获得倾斜于 C 轴的AlN 薄膜的制备方法 ,探讨了倾斜 AlN 薄膜的生长机理 。以3 对交替沉积
的 Ti —Mo 金属层为布拉格声学反射层 ,采用 M EMS 工艺制备了基于倾斜 AlN 薄膜的、以剪切模式振动的体声波液体传感器 ,
并对器件的 S11 参数进行测试分析 ,得到传感器的中心频率为 078 GHz ,表明该器件在生物液相检测领域具有一定的应用前景 。
关键词 :质量传感器 ;倾斜 AlN 薄膜 ;磁控溅射 ;剪切振动
中图分类号 :TN405 文献标识码 :A 文章编号 2009)
( )
以质量负载效应为原理 的石英 晶体传感器 采
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