面板厂AGV走道FFU布置对LUL微尘污染影响分析报告 - 亚翔工程.PDF

面板廠 AGV 走道FFU佈置對 面板廠 AGV 走道FFU佈置對 LUL微塵汙染影響分析報告 LUL微塵汙染影響分析報告 報告人：亞翔工程 黃士軒 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 面板廠搬運系統介紹 ( 一) 所謂 AGV ，是Automatic Guided Vehicle的縮寫，屬於無 人搬運車的一種。由於它沒有軌道，因此，其移動速度比較 慢。 就產品於搬運過程中的保護，通常在 AGV上，自己配備 有風車及HEPA/ULPA濾網，除了過濾空氣外，更確保產品 於搬運過程中的臨時儲存空間為正壓，以防止於搬運過程中 被particle污染 。 其外觀如下圖，而產品(在面板產業就是卡匣就藏身在) AGV內。 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 (二) 面板廠搬運系統介紹 (二) 所謂 LUL ，是Loader/UnLoader的簡寫，從功能上定義其 名稱，意即產品在這個地方被載入 (Load)或者被移除 (Unload) ，在面板產業的產品就是卡匣(Cassette) ，所以，也 常被稱呼為 Cassette Station 。 就產品需求而言，由於產品就是放置在 LUL 等待被加工 或者已經加工完成等待其他產品的加工，因此，在LUL區域 的潔淨度就益形重要 ，通常我們會在其上方佈置較多的 HEPA (高效空氣過濾器 )/ULPA(超高效空氣過濾器) 。 其外觀如右圖所示。 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 (三) 面板廠搬運系統介紹 (三) 由 AGV與LUL所共同組成的搬運系統，我們一般就直呼 為AGV搬運系統。 AGV在固定的區域內移動，吾人稱為AGV 走道，而生產 設備則是透過 LUL為窗口，透過Robot負責產品的進出管控。 AGV 走道則連接前後製程，利用AGV於AGV 走道上搬運產 品。 FFU ，濾網 與風車單元 就產品的顧慮，卡 匣在 LUL會直接曝露於 機台及生產區 環境中，而AGV 走道又 LUL及Robot 與LUL相連接，因此， 一般在建廠中的規劃， AGV 走道 都會把 LUL區域與 AGV 走道潔淨度設計相近。 如右圖說明。 Confidential, unpublished property of LK. Do not duplicate or distribute © LK Engineering Co., Ltd. 2010 面板廠搬運系統介紹 (四) 面板廠搬運系統介紹 (四) 在