新型溶胶.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 ‘ 一 新型溶胶 凝胶法制备纳米 薄膜 的研 究 符 晓荣 武光 明 宋 志棠 多新 中 林 成 鲁 , ‘ 中 国科 学院土 海 冶 金 所 信 息功 能材 料 国 家重 点 实验 室 上 海 北 京石 油 化 工 学院基础 部 北 京 摘 要 以 , 添加 , , 硝 酸镁 为起始原料 胶 棉液为 剂 在 衬底上成 功地制 备 薄膜 结果表 明, 胶 棉液是形成 溶胶 的关键组份 薄膜 的晶体结构 与胶 棉液 的含量及退火 温度 有关 、 同时, 用 射线衍射 原子力显微镜 和透射 电镜 对薄膜 的微观结构进 行 了分析 一 分 类 词 , 法 关 键 号 薄膜 溶胶 凝胶 引言 最近 , 薄膜作为 制备高温超 导 体 以及铁 电薄膜 的稳 定 阻挡层 引起 了人们广 泛 的兴 , 趣 , 因为 在 制备高性 能 的集成器 件过 程 中 首先必须在半导体 主 要 是 和 上制 备高质量 的铁 电或超 导 薄膜 但是 由于铁 电 或超 导 材料与半导体材料在物理 化学 性质上 存 在很 大 的差 别 , 直接将铁 电 或超 导 薄膜沉 积在半导体衬底上会 出现诸如互扩散反 应 、 晶格 失配 以及 热膨胀 系数不 同造 成铁 电 或超 导 性 能恶化