全自动丝网印刷传送设备技术规格书wdq.docVIP

Ver 1.00 2009/05/14 CUC Technology 技 术 规 格 书 全自动丝网印刷传送设备 对本规格书所记载内容进行确认后，请在下面署名栏中签字确认。 设备名称 全自动丝网印刷传送设备 工艺规格 1）处理对象：6英寸（125mm×125mm）、 8英寸硅片（156mm×156mm） 2）每小时产能大于1200片（6英寸）、1100片（8英寸） 主要性能参数 本设备适用于Dek PVP1200全自动丝网印刷设备，后续经改进后可适用于所有厂家全自动丝网印刷设备。 3.1 采用皮带传送硅片，传感器感应硅片位置 3.2 皮带传送峰值速度在0.1-0.3米/秒之间可调 3.3 最薄处理硅片厚度至150微米 3.4 印刷机因故停止运行时，有50-100片左右的缓冲能力 3.5 与印刷头和烧结炉之间连接良好 3.6 与印刷头实现功能结合，协调动作，整个系统由印刷头的控制系统统一控制 3.7 整套系统碎片率低于0.3% 使用环境要求 4.1 电力规格： 电器系统遵守下列安全规定： NFPA-79工业设备电器标准 NFPA-70国际电工标准 采用3相+中线+地线5线制供电，电网电压波动不超过额定值的±10%380VAC /50HZ，总功率≤0KVA；设备外壳要求接地良好。 .2 用水气：供应水压要求0.～0.Mpa，进水口水温≤20℃；供应气压要求0.3～0.6Mpa，气体纯度≥99.999%.3 排废：。 .4 环境温度5～℃。.1 总体结构 全自动丝网印刷传送设备分为五大部分， 硅片上料-丝网印刷－链式烘干炉－硅片缓存－丝网印刷机－链式烘干炉－硅片缓存－翻转装置－丝网印刷机。 5.2 分部件结构 5.2.1 硅片装载装置 硅片装载装置是将硅片引入丝网印刷生产线的设备，运行时硅片篮中硅片盒传送皮带相接触，通过传感器控制硅片位置来控制皮带给硅片的压力，并且通过皮带的摩擦力，将硅片从硅片篮中传送至印刷头。 硅片装载装置采用旋转的循环工作方式，旋转机构同样由传感器定位，旋转马达采用东方马达（步进电机）驱动运转，上升下降马达采用齿条（步进）电机驱动，转盘电机也采用东方齿轮减速电机。主体框架采用Q235钢材焊接而成，表面喷涂处理，台面采用AL6063铝材，传动机构全部采用AL6063，齿轮采用SUS304.同步带采用日本米思米产品，传送部份传感器采用欧母龙电容式传感器，硅片感知系统传感器采用积恩士对射光纤传感器此装置需要和印刷头进行数据通讯，并在印刷控制电脑上进行控制。 5.2.2 链式烘干炉 链式烘干炉峰值温度为400度，腔内温度不稳定性要求在±3度左右；网带运行速度在0-4000mm/min之间可调，运行稳定性在±100mm/min以内。 设备共分为三个独立可控的加热温区，每个温区长度在750mm左右。 链式烘干炉由单独的工控机进行控制，但留有和印刷头之间的数据通讯接口。 5.2.3 硅片翻转机构 硅片翻转机构采用机械转盘翻片方式，翻转的频率为150圈/小时左右，每次转动幅度为60度角，通过传感器感应硅片位置。硅片翻转装置采用旋转的循环工作方式，传动机构同样由传感器定位，旋转马达采用东方马达（步进电机）驱动运转，转盘电机也采用东方马达步进电机。主体框架采用Q235钢材焊接而成，表面喷涂处理，台面采用AL6063铝材，罩子采用有机玻璃制成，可掀开进行操作，并设有门禁系统以免工作时误操作，传动机构全部采用AL6063，翻转盘采用SUS316L双镜面不锈钢板制成.同步带采用日本米思米产品，传送部份传感器采用欧母龙电容式传感器，硅片感知系统传感器采用积恩士对射光纤传感器。 翻片机构需要和印刷头进行数据通讯，并由印刷头控制器统一进行控制。 - 1 -