基于步距规的坐标测量机的误差补偿方法.pdfVIP

学兔兔 第31卷 第1O期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．31 No．1O 2010年10月 Chinese Journal of Scientific Instrument 0et．2010 基于步距规的坐标测量机的误差补偿方法木 位恒政，王为农，裴丽梅，郑庆国 (中国计量科学研究院 北京 100013) 摘 要：数值误差补偿是提高三坐标测量机测量精度的经济而有效的手段。利用步距规在测量空问的不同位置与几何误差的 数学关系，提出一种基于步距规的三坐标测量机的误差分析方法，得出三坐标测量机的定位误差、角摆误差、垂直度误差和直线 度误差，并在三坐标测量机上进行了误差补偿实验，验证了该方法的有效性。该方法对机床导轨的几何误差分析也同样适用。 关键词：步距规；几何误差；误差补偿；三坐标测量机 中图分类号：TH701 TH72 0241．1 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：410．55 Geometric error compensation of coordinate measurement machine with step gauge Wei Hengzheng，Wang Weinong，Pei Limei，Zheng Qingguo (National Institute 0厂Metrology，Beijing 100013，China) Abstract：Numerical error compensation is an effective and economieal way to improve the measurement accuracy of coordinate measurement machine(CMM)．Using the relationship between geometric error and volume space of CMM，an error compensation method based on step gauge is proposed．The error sources，including position error， angle error，squareness error and straightness error，are obtained respectively．Error compensation experiments were carried out on CMM．Experiment resuhs prove the effectiveness of the method．The method is also suitable for the geometric error analysis of machine tool guide rail． Key words：step gauge；geometric error；error compensation；coordinate measurement machine 基于刚体模型的2l项几何误差分析方法及误差补 1 引 言 偿方法得到最广泛的应用 。 ，其误差分离方法主要有： 激光干涉测量法 、一维球列法¨ 、二维球板法 、3D 三坐标测量机是一种高效率的精密测量仪器，广泛 球板法测 。最近，Et~on公司推出一种基于多向位移 用于机械制造、电子、汽车和航空航天等工业中，可以进 测量的激光跟踪仪测量方法 ，该方法